[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层的制备方法

权利要求书

1.一种铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）采用化学气相沉积，加热铜源、铟源、镓源使其转变为气相，经分解后沉积在衬底上，形成铜铟镓金属预置层；

2）所述铜铟镓金属预置层经硒化烧结得到铜铟镓硒薄膜。

2.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述步骤1）是开放式的，在常压的大气状态下进行。

3.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述步骤1）中的分解是在350-400℃温度下进行。

4.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述铜源为乙酰丙酮铜，所述铟源为乙酰丙酮铟，所述镓源为乙酰丙酮镓。

5.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述铜铟镓金属预置层包括含氧的铜铟镓薄膜。

6.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述硒化过程中以固态硒粉、硒化氢或有机硒源作为硒源。

7.如权利要求6所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述有机硒源为二甲基硒。

8.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述硒化在450-550℃温度下进行。

9.如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层的制备方法，其特征在于，所述铜铟镓硒薄膜中铜铟镓含量的原子比为：铜:铟:镓=0.9-1:0.3-1:0.7-0。

10.一种化学气相沉积装置，用于制备如权利要求1所述铜铟镓硒薄膜太阳电池光吸收层，其特征在于，所述装置包括容器、样品台、以及连通所述容器和所述样品台的管道，所述管道中充填有惰性气体，所述容器内放置有铜源、铟源或镓源。