[发明专利]太阳电池单元检查装置

权利要求书

1.一种太阳电池单元检查装置，其特征在于包括：

第一照射部，向平板形状的半导体晶圆的第一面照射可见光；

第一拍摄部，接收所述半导体晶圆所反射的所述可见光，借此，取得所述半导体晶圆的反射影像；

第二照射部，向与所述半导体晶圆的所述第一面相向的所述半导体晶圆的第二面照射红外光；

第二拍摄部，接收透过所述半导体晶圆的所述红外光，借此，取得所述半导体晶圆的透射影像；以及

判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半导体晶圆是否存在缺陷，上述太阳电池单元检查装置的特征在于：

包括配置在所述第一拍摄部及所述第二拍摄部之间的分束器，

所述分束器将不足设定波长的光引导至第一拍摄部，并且将设定波长以上的光引导至第二拍摄部。

2.根据权利要求1所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述第二拍摄部的分辨率高于所述第一拍摄部的分辨率。

3.根据权利要求1或2所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述第一照射部包括蓝色光源、绿色光源、以及红色光源，

所述第二照射部包括红外光源。

4.根据权利要求1或2所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述半导体晶圆为太阳电池单元，

所述判定部判定所述半导体晶圆是否存在选自膜厚、裂缝、电极检查、缺损、以及表面缺陷中的至少一种缺陷。

5.一种太阳电池单元检查装置，其特征在于包括：

第一照射部，向平板形状的半导体晶圆的第一面照射可见光；

第一拍摄部，接收所述半导体晶圆所反射的所述可见光，借此，取得所述半导体晶圆的反射影像；

第二照射部，向与所述半导体晶圆的所述第一面相向的所述半导体晶圆的第二面照射红外光；

第二拍摄部，接收透过所述半导体晶圆的所述红外光，借此，取得所述半导体晶圆的透射影像；以及

判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半导体晶圆是否存在缺陷，上述太阳电池单元检查装置的特征在于：

在所述第一拍摄部的受光面的前方配置有第一滤光器，该第一滤光器使不足第一设定波长的光透射，并且对第一设定波长以上的光进行反射，

在所述第二拍摄部的受光面的前方配置有第二滤光器，该第二滤光器使第二设定波长以上的光透射，并且对不足第二设定波长的光进行反射。

6.根据权利要求5所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

包括配置在所述第一拍摄部及所述第二拍摄部之间的半反射镜，

所述半反射镜将一部分的光引导至所述第一拍摄部，并且将剩余的光引导至所述第二拍摄部。

7.根据权利要求5或6所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述第一设定波长为比所述第二设定波长更长的波长。

8.根据权利要求5或6所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述第二拍摄部的分辨率高于所述第一拍摄部的分辨率。

9.根据权利要求5或6所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述第一照射部包括蓝色光源、绿色光源、以及红色光源，

所述第二照射部包括红外光源。

10.根据权利要求5或6所述的太阳电池单元检查装置，其特征在于：

所述半导体晶圆为太阳电池单元，

所述判定部判定所述半导体晶圆是否存在选自膜厚、裂缝、电极检查、缺损、以及表面缺陷中的至少一种缺陷。