[发明专利]钴靶材热处理方法有效
| 申请号： | 201210182729.6 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN103451586A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/10 | 分类号： | C22F1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钴靶材 热处理 方法 | ||
1.一种钴靶材热处理方法，其特征在于，包括：
提供钴靶材，所述钴靶材的纯度大于4N；
预热砂子；
将已预热的砂子包覆所述钴靶材，对所述钴靶材进行热处理。
2.根据权利要求1所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述砂子是填充于热处理装置中，所述钴靶材是在加热所述砂子之后再没入所述砂子中。
3.根据权利要求1或2所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，还包括感测所述钴靶材的加热温度的步骤。
4.根据权利要求3所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述感测所述钴靶材的加热温度包括通过表面温度感测器进行感测。
5.根据权利要求1所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述钴靶材在热处理之前已进行了塑性变形工艺。
6.根据权利要求1所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述预热砂子的加热温度为150℃～400℃。
7.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述热处理工艺具体参数为：加热温度为150℃～400℃，并在此温度下保温45min~90min。
8.根据权利要求1所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述钴靶材的纯度范围为4N5~6N。
9.根据权利要求2所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述热处理装置为恒温炉。
10.根据权利要求1所述的钴靶材热处理方法，其特征在于，所述砂子材料为碳化硅、氧化铝或石英砂，规格为45号、60号、70号、80号与90号中的任一种。
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