[发明专利]多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测方法及相应的检测装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）将测温热电偶放置在装料坩埚下方距离坩埚外底面0~50mm的位置，之后在坩埚内放置硅原料；

（2）加热使硅原料熔化形成硅溶液，观测记录测温热电偶测得的温度T，并通过求所测得的温度对时间的一阶导数计算得到测温热电偶所在位置的升温速率T′；

（3）自所述测温热电偶测得温度T超过1200℃后，每经过一分钟，将当前记录的升温速率T′值减去十分钟前记录的升温速率T′值，得出差值ΔT′，根据每分钟ΔT′值的大小判断硅原料的熔化状态；如果ΔT′< 0.03℃/min，则硅原料完全没有熔化；如果0.03℃/min <ΔT′< 0.05℃/min，则硅原料处于即将熔化完成状态；如果ΔT′> 0.05℃/min，则硅原料已完全熔化。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测方法，其特征在于：所述的坩埚为石英坩埚。

3.一种多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测装置，其特征在于：它包括有：人机界面装置、PLC可编程控制器、A/D转换模块、输出模块、测温热电偶、以及报警器，其中，PLC可编程控制器分别与人机界面装置、A/D转换模块、以及输出模块相连，A/D转换模块同时与测温热电偶相连，输出模块则同时与报警器相连。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉铸锭熔化状态检测装置，其特征在于：所述的测温热电偶为R型热电偶。