[发明专利]基于光干涉的气压分布测量装置

权利要求书

1.一种基于光干涉的气压分布测量装置，其特征在于：包括支架以及安装在支架内的光源（1）、干涉显微镜（2）、第一光电传感器（3）和分光转换器（4），在干涉显微镜（2）的下端设置有由透明玻璃板（7）与反射平台（8）组成的填装被测气膜的气腔；

光源（1）用于将生成的包含两种或两种以上单色光的原复合光发送至干涉显微镜（2）；

干涉显微镜（2）用于对光源（1）发送的原复合光预处理，并将得到的预处理复合光按比例分为两束，一束预处理复合光被发送至第一光电传感器（3），另一束预处理复合光被发送至透明玻璃板（7）；对透明玻璃板（7）返回的反射光进行放大处理，并将得到的放大反射光发送至分光转换器（4）；

第一光电传感器（3）用于将干涉显微镜（2）发送的一束预处理复合光由光信号转换为电信号后发送至数据采集器（5）；

分光转换器（4）用于从干涉显微镜（2）发送的放大反射光中提取两种或三种单色光，并将提取到的各单色光由光信号转换为电信号后发送至数据采集器（5）；

数据采集器（5）用于将采集的第一光电传感器（3）发送的预处理复合光电信号与分光转换器（4）发送的各单色光电信号转发至计算机（6）；

计算机（6），用于预先存储气体折射率与气体压强之间的对应关系；对来自数据采集器的预处理复合光电信号与各单色光电信号进行处理，根据得到各单色光电信号产生的干涉信号强度与预处理复合光电信号的信号强度确定被测区域内的气体折射率，再根据气体折射率与气体压强之间的对应关系，确定被测区域内气膜的内部气压分布。

2.根据权利要求1所述的基于光干涉的气压分布测量装置，其特征在于，所述基于光干涉的气压分布测量装置还包括第一分束器（10）、干涉摄像仪（11）和干涉照相机（12）；

其中，第一分束器（10）设置在干涉显微镜（2）与分光转换器（4）之间，将透明玻璃板（7）返回的放大反射光按比例分为两束：一束放大反射光被发送至干涉摄像仪（11），另一束放大反射光被发送至所述分光转换器（4）；

干涉摄像仪（11）将捕捉到的一束放大反射光发送至干涉照相机（12）；

干涉照相机（12）对来自干涉摄像仪（11）的一束放大反射光进行成像，并将成像信息发送至计算机（6）。

3.根据权利要求1或2所述的基于光干涉的气压分布测量装置，其特征在于，所述干涉显微镜（2）包括准直镜（21）、第二分束器（22）、物镜（23）；其中，准直镜（21）与第二分束器（22）在同一水平位置，物镜（23）设于第二分束器（22）的垂直下方；

准直镜（21）对所述光源（1）发送的原复合光进行平行化处理，并将得到的预处理复合光发送至第二分束器（22）；

第二分束器（22）将来自准直镜（21）的预处理复合光按比例分为两束：一束预处理复合光被发送至第一光电传感器（3），另一束预处理复合光被发送至物镜（23），同时将来自物镜（23）的放大反射光转发至所述分光转换器（4）或第一分束器（10）；

物镜（23）将来自第二分束器（22）的另一束预处理复合光发送至所述透明玻璃板（7）；将所述透明玻璃板（7）返回的反射光进行放大，并将得到的放大反射光发送至第二分束器（22）。