[发明专利]一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法无效
| 申请号： | 201210177851.4 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102707567A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 褚金奎;王海祥;张然;陈兆鹏 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 关慧贞 |
| 地址： | 116024*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 基底 复制 纳米 压印 模板 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
1）利用原始模板（2）对柔性基底IPS（1）进行压印，复制纳米图形；
2）在柔性基底IPS（1）上有纳米图形的一面溅射一层金属层；溅射的金属层（3）覆盖了IPS（1）上的整个纳米图形区域，并且填充满了纳米图形的所有凹型结构；溅射的金属是镍、铜或金；
3）将溅射有金属层的IPS（1）放入电铸槽进行微电铸；微电铸沉积金属层（4）中的金属是镍、铜或金；
4）电铸沉积结束后揭掉IPS（1），完成纳米压印模板的复制。
2.根据权利要求1所述的一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法，其特征在于，原始模板（2）的材料是硅、二氧化硅、石英、金刚石或金属；柔性基底的材料是IPS、PC或PDMS。
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