[发明专利]应力检测元件、传感器组件以及电子设备

权利要求书

1.一种应力检测元件，其特征在于：

所述应力检测元件具备：

支撑体，具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部；

支撑膜，形成在所述支撑体上，用于封闭所述开口部；

第一压电元件，在从膜厚方向观察所述支撑膜的俯视图中，以沿所述第一直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，通过发生弯曲来输出电信号；

第一弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第一直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上；以及

第二弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第二直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，

其中，所述第一弹性部被配置为在第一弹性端部与第二弹性端部之间存在间隔，所述第一弹性端部为所述第一弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘，所述第二弹性端部为所述第二弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘。

2.根据权利要求1所述的应力检测元件，其特征在于：

所述第一弹性部的所述第一弹性端部以及所述第二弹性部的所述第二弹性端部在所述俯视图中，与所述第一直线部及所述第二直线部平行。

3.根据权利要求2所述的应力检测元件，其特征在于：

在所述俯视图中，从所述开口部的所述第一直线部到所述第一弹性端部的距离与从所述第二直线部到所述第二弹性端部的距离相等。

4.根据权利要求3所述的应力检测元件，其特征在于：

从所述开口部的所述第一直线部到所述第一弹性端部的距离以及从所述第二直线部到所述第二弹性端部的距离是从所述第一直线部到所述第二直线部的距离的10％～30％。

5.根据权利要求1所述的应力检测元件，其特征在于：

所述第一弹性部被设置为覆盖所述第一压电元件。

6.根据权利要求1所述的应力检测元件，其特征在于：

所述应力检测元件还具备：

第二压电元件，在所述俯视图中，以沿所述第二直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，通过发生弯曲来输出电信号。

7.根据权利要求1所述的应力检测元件，其特征在于：

所述开口部具有相对于所述第一直线部及所述第二直线部正交的第三直线部及第四直线部，

所述应力检测元件还具备：

第三压电元件，在所述俯视图中，以沿所述第三直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，通过发生弯曲来输出电信号；

第三弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第三直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上；以及

第四弹性部，在所述俯视图中，以沿所述第四直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，

其中，所述第三弹性部被设置为在第三弹性端部与第四弹性端部之间存在间隔，所述第三弹性端部为所述第三弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘，所述第四弹性端部为所述第四弹性部在所述开口部的内侧区域的端部边缘。

8.根据权利要求7所述的应力检测元件，其特征在于：

所述应力检测元件还具备：

第四压电元件，在所述俯视图中，以沿所述第四直线部且从所述开口部的内侧区域跨至外侧区域的方式设置在所述支撑膜上，通过发生弯曲来输出电信号。

9.根据权利要求7所述的应力检测元件，其特征在于：

所述第一弹性部、所述第二弹性部、所述第三弹性部以及所述第四弹性部一体地形成。

10.一种传感器组件，其特征在于：所述传感器组件具备传感器阵列，所述传感器阵列具备多个权利要求1所述的应力检测元件，同时，这些所述应力检测元件排列成阵列状。

11.一种电子设备，其特征在于：

所述电子设备具备：

权利要求10所述的传感器组件；以及

信号处理部，根据从所述传感器组件输出的信号，实施信号处理。