[发明专利]一种沉积炉管及沉积薄膜的方法

权利要求书

1.一种沉积炉管，包括：炉体、气体反应腔、通气管道、抽气泵、温度控制器和晶舟，其特征在于，所述通气管道贯穿于气体反应腔，且所述通气管道上有至少两个通气孔。

2.如权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于，所述通气管道上的通气孔是等间隔分布在通气管道上的。

3.如权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于，所述通气孔位于所述通气管道与晶舟对应的位置。

4.如权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于，所述通气管道位于晶舟的下方，且所述通气孔开在通气管道的上表面；或者，所述通气管道位于晶舟的上方，且所述通气孔开在通气管道的下表面。

5.如权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于，所述通气管道的尾部是闭口结构。

6.如权利要求1所述的沉积炉管，其特征在于，所述通气管道的长度为70英寸，通气管道的截面直径为0.546英寸，所述通气孔的直经为0.052英寸。

7.一种利用权利要求1-6任一所述的沉积炉管沉积薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：

通过通气管道上的通气孔向气体反应腔通入反应气体；

在放置于晶舟上的晶圆表面沉积薄膜。