[发明专利]大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法

权利要求书

1.大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：

（1）第i束激光注入由高反射镜构成稳定的第i个初始光学谐振腔，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合出第i个初始光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τ_0i，i＝1，…，N；

（2）在第i个初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测大口径反射光学元件，构成稳定的第i个测试光学谐振腔，待测大口径反射光学元件置于二维位移平台上，位移平台每步进一次，记录一次光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合出第i束激光在待测大口径反射光学元件表面(x,y)位置处时第i个测试光学谐振腔的衰荡时间τ_i(x,y)，通过τ_0i和τ_i(x,y)得到待测大口径反射光学元件表面(x,y)位置在第i束激光波长处的反射率R_i(x,y)，计算公式为其中L_0i为第i个初始光学谐振腔腔长，L_i为第i个测试光学谐振腔腔长，c为光束；通过扫描位移平台位置，得到待测大口径反射光学元件的反射率分布图。

2.根据权利要求1所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述N束激光束共用一套二维位移平台。

3.根据权利要求1或2所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述二维位移平台可实现水平方向和垂直方向线性步进移动。

4.根据权利要求1或2所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述二维位移平台在水平方向可整体任意转动，满足不同入射角度的大口径反射光学元件测量需求。

5.根据权利要求1所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述的二维位移平台可以通过控制软件实现步进线性扫描，也可以通过手动调节实现步进线性扫描。

6.根据权利要求1所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述N束激光束入射到待测大口径反射光学元件时可以是平行或以一定角度相交的。

7.根据权利要求1所述的大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，其特征在于：所述置于二维位移平台上的待测大口径反射光学元件可以实现俯仰角度的精细调节。