[发明专利]一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置

权利要求书

1.一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：包括激光器、斩波器、振镜和多个反射镜，所述振镜镜片的两面都是高反射面；

所述激光器发出的光经过斩波器形成两个路径：第一路径经过斩波器入射至振镜镜片正面实现角度偏转，再经反射镜反射至扫描面；第二路径经过斩波器和反射镜入射至振镜镜片背面实现角度偏转，再经反射镜反射至扫描面；所述振镜镜片正面和振镜镜片背面分别形成的扫描线在空间上重叠。

2.根据权利要求1所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述反射镜包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜和第七反射镜；

所述第一路径经过斩波器入射至振镜镜片正面实现角度偏转，再依次经过第六反射镜和第七反射镜反射至扫描面；第二个路径依次经过斩波器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜入射至振镜镜片背面实现角度偏转，再依次经过第五反射镜和第四反射镜反射至扫描面。

3.根据权利要求1所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述第一路径和第二路径分别为透射路径和反射路径，所述透射路径和反射路径由透反式斩波器形成，或由两个普通斩波器加设分束镜形成。

4.根据权利要求2所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述第五反射镜与第六反射镜到振镜上激光入射点距离相等，第五反射镜至第四反射镜的距离与第五反射镜到扫描线的距离之和，等于第六反射镜至第七反射镜的距离与第七反射镜到扫描线的距离之和，所述第一路径和第二路径扫描的幅面由第四反射镜和第七反射镜调整为轴对称三角形。

5.根据权利要求3所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述透反式斩波器斩波盘由抛光铝板制成，包括用于透射激光的镂空部分和用于反射激光的非镂空板面，所述透反式斩波器斩波面与激光方向呈45度夹角。

6.根据权利要求3所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述透反式斩波器斩波频率与振镜振动频率调整为一致，透射过程对应振镜顺时针转动过程，反射过程对应振镜逆时针转动过程。

7.根据权利要求3所述的一种利用双面振镜实现激光单向扫描的扫描装置，其特征在于：所述两个普通斩波器斩波频率信号反相，所述分束镜的分束比例为1：1。