[发明专利]驱动器固定的三维无耦合微位移工作台

权利要求书

1.驱动器固定的三维无耦合微位移工作台，包括基板（1）、Z向下框（2）、Z向上框（3）、内工作台（4）、工作台（5）、Z向驱动单元（6）、支撑杆（7）、驱动支链（8）、Z向支撑单元（9），其特征在于：所述基板（1）中部设有贯通的空腔，所述空腔中部设有内工作台（4），所述内工作台（4）的周边分别通过十字形均布的四个驱动支链（8）连接着基板（1），且内工作台（4）上表面、下底面的中心分别通过上下对称分布的驱动支链（8）连接着Z向支撑单元（9）和Z向驱动单元（6）的内侧；所述Z向支撑单元（9）与Z向驱动单元（6）的顶部分别连接着Z向上框（3）和Z向下框（2）内侧中部；所述Z向下框（2）、Z向上框（3）为截面呈正方形的C形杆状，分别垂直连接着基板（1）的上表面和下表面，并与X轴方向的驱动支链（8）中心对齐；所述工作台（5）设置在内工作台（4）的正上方，并通过四根均布的支撑杆（7）跨过Z向上框（3）连接着内工作台（4）上表面；与X+、Y+、Z-方向驱动支链（8）外端对应的所述空腔、Z向驱动单元（6）的侧壁上分别设有凹槽（11），所述凹槽（11）共有三个，每个凹槽（11）内分别设有电致伸缩器件（10），电致伸缩器件（10）的一端顶紧驱动支链（8）的外端，另一端顶在凹槽（11）的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的驱动器固定的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述驱动支链（8）包括：空间柔性铰链杆（12）、平面柔性铰链杆（13）、驱动支座（14），其中：驱动支座（14）为矩形板状，其内侧面与一组两根相互平行的空间柔性铰链杆（12）的一端连接，两侧面分别对称连接着平面柔性铰链杆（13）的一端，两侧的平面柔性铰链杆（13）在同一直线上，且垂直于驱动支座（14）内端的一组空间柔性铰链杆（12）。

3.根据权利要求1所述的驱动器固定的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述内工作台（4）为正方形板状，每一侧面、上表面和下底面的中部分别连接着两根并列的空间柔性铰链杆（12）的一端。

4.根据权利要求1所述的驱动器固定的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述工作台（5）为正方形板状且与内工作台（4）大小相同，工作台（5）通过与其下底面垂直的四根均布的正方形柱状支撑杆（7）连接着内工作台（4）上表面。

5.根据权利要求1所述的驱动器固定的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述电致伸缩器件（10）为Thorlabs公司生产的20μm行程PAS005 、PAS020驱动器或者40μm行程PAS009、PAS040驱动器，且不随工作台运动。