[发明专利]一种石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法有效
申请号: | 201210169973.9 | 申请日: | 2012-05-29 |
公开(公告)号: | CN102660740A | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 郭新立;朱圣清;张彤;汤铨;刘建双 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;H01L31/0224;B82Y30/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210096*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 金属 纳米 颗粒 复合 薄膜 制备 方法 | ||
1. 一种石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其特征在于,该石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜主要包括:第一石墨烯薄膜层(1)、第二石墨烯薄膜层(3)、第三石墨烯薄膜层(5)、第一金属纳米颗粒薄膜层(2)和第二金属纳米颗粒薄膜层(4);石墨烯薄膜层和金属纳米颗粒薄膜层这两种薄膜材料相互交替叠加形成石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜,并与基底材料(6)构成整体,作为分子拉曼信号检测基底或透明增效的太阳能电池电极。
2. 根据权利要求1所述的一种石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其特征在于,所述的基底材料(6)采用硅片或石英玻璃。
3. 根据权利要求1所述的一种石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其特征在于,这种方法主要包含5个步骤:
a、首先利用化学气相沉积法在铜或镍金属基底上外延生长一层石墨烯薄膜,石墨烯薄膜厚度为数埃到几十纳米,通过溶液腐蚀掉金属基底方式得到第一石墨烯薄膜层(1),并转移至基底材料(6)的表面上;
b、把第一石墨烯薄膜层(1)及基底材料(6)整体作为直流电极采用电泳方法放入含有金属纳米颗粒溶液中,在第一石墨烯薄膜层(1)表面制备第一金属纳米颗粒薄膜层(2),或以第一石墨烯薄膜层(1)及基底材料(6)为整体在第一石墨烯薄膜层(1)表面真空蒸镀一层金属纳米薄膜并高温退火得到第一金属纳米颗粒薄膜层(2);
c、在第一金属纳米颗粒薄膜(2)上再铺覆一层化学气相沉积法制备的第二石墨烯薄膜层(3);
d、在第二石墨烯薄膜层(3)上利用电泳方法或真空蒸镀并退火的方法制备一层第二金属纳米颗粒薄膜层(4);
e、在第二金属纳米颗粒薄膜层(4)上再次铺覆一层化学气相沉积法制备的第三石墨烯薄膜层(5)。
4. 根据权利要求3所述的一种石墨烯和金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法,其特征在于所述的第一金属纳米颗粒薄膜层(2)和第二金属纳米颗粒薄膜层(4)的单个纳米颗粒单元形貌包括球型、椭球形、棒形、三角板形、正方形、六边形或碟片形,尺寸大小为数纳米到数十纳米。
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