[发明专利]一种预冲洗花篮架

说明书

技术领域

本发明涉及一种在对硅片预冲洗时用到的花篮架，属于硅片的加工制造领域。

背景技术

硅棒在切割后，需要对加工后的硅片表面残留的砂浆进行清洗，这个过程叫做硅片的预冲洗。花篮架是硅片预冲洗的基础设施，它是硅片预冲洗效果的主导因素。

现有的花篮架主要存在以下不足之处：

1）喷淋装置设置在花篮架外，预冲洗时离硅片距离较远，水柱到达硅片时已经分叉，并且花篮架容易阻碍到水柱，造成预冲洗效果不理想，需要延长冲洗时间，降低了预冲洗的效率；

2）花篮架侧面没有保护装置，这使放置在内的硅片在预冲洗过程中容易发生侧向的倾斜，导致硅片侧面发生崩边和缺角的状况；

3）花篮架底部的限位杆对硅片起到支撑限位的作用，但由于它是固定的，因此硅片底部的位置不能改变，也容易造成硅片在预冲洗过程中底部发生崩边和缺角的状况。

因此，开发一种改进的适用于硅片预冲洗工作的花篮架实为必要。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种预冲洗花篮架。

本发明的预冲洗花篮架，包括框架、连接在框架两侧的升降杆、设在两个升降杆之间的限位杆和设在框架另外两侧的护栏和喷淋装置，所述的限位杆位于框架内部，与升降杆垂直相连，且位于护栏和喷淋装置下方，所述的升降杆两端与框架之间为可调式连接，所述的限位杆两端与升降杆之间为可调式连接。

所述的两个升降杆之间设有两个或两个以上的限位杆。

所述的框架两侧设有把手。

本发明的预冲洗花篮架，具有如下技术效果

1）喷淋装置和花篮架一体化，设置在花篮架喷淋装置两侧边框架上，水珠距离硅片近，水压稳定，冲洗效果好，降低预冲洗时间，提高了效率，同时减少了用水量，降低了成本，也减少了排污量；

2）花篮架的侧面增加了保护装置，底部限位杆改为可调节，使硅片放置在花篮架中更高效的进行预冲洗工作，避免了崩边和缺角的问题，提高了产品的质量，也提高了产量；

3）增加的把手设计，使花篮架实现便携式。

附图说明

图1是本发明的预冲洗花篮架的结构图。

其中，1为框架，2为护栏，3为喷淋装置，4为限位杆，5为升降杆，6为把手。

具体实施方式

如图1所示，本发明的预冲洗花篮架，包括框架1、连接在框架1两侧的升降杆5、设在两个升降杆5之间的限位杆4和设在框架1另外两侧的护栏2和喷淋装置3，所述的限位杆4位于框架1内部，与升降杆5垂直相连，且位于护栏2和喷淋装置3下方，所述的升降杆5两端与框架1之间为可调式连接，所述的限位杆4两端与升降杆5之间为可调式连接。两个升降杆5之间设有两个或两个以上的限位杆4。框架1两侧设有把手6。

下面结合图1对本发明的具体工作原理进行说明：在框架1的侧边上直接设置喷淋装置3，使硅片可以被更近距离的冲洗，达到更好的冲洗效果，也减少了冲洗时间；在框架1两端竖直的支架内侧开设凹槽，在两个凹槽之间插接水平的升降杆5，升降杆5可实现竖直调节位置，升降杆5也开设有凹槽，两端的升降杆5之间插接横向的限位杆4，两个限位杆4可实现水平调节位置，针对不同尺寸的硅片，限位杆4通过调节水平和竖直方向的位置，使硅片放置的位置更有利于冲洗；在框架1的两个侧面增加护栏2，使硅片被更好的固定位置，不会因为水柱的冲力倾斜导致损坏。