[发明专利]抗蚀刻组合物及其应用

权利要求书

1.一种抗蚀刻组合物，其特征在于包含一聚合物及一第一有机溶剂，所述聚合物由包含苯乙烯类单体与丙烯酸酯类单体的聚合单元共聚而成，其中所述聚合物的重均分子量为至少约35000，且以所述抗蚀刻组合物的总重量计，所述聚合物的含量为约20.0重量%至约60.0重量%，所述第一有机溶剂的含量为约40.0重量%至约80.0重量%。

2.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述苯乙烯类单体选自由苯乙烯、4-氯-α-甲基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、α-乙基苯乙烯、4-乙基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-丙基苯乙烯、4-环己基苯乙烯、二乙烯基苯、3-甲氧基-α-硝基苯乙烯、硝基苯乙烯、氟苯乙烯、溴苯乙烯、氯苯乙烯、氯甲基苯乙烯、氨基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-乙氧基苯乙烯、羟基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、1-乙烯基萘、2-乙烯基萘、4-十二烷基苯乙烯、2-乙基-4-苯甲基苯乙烯、4-(苯基丁基)苯乙烯及它们的组合所组成的组。

3.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述丙烯酸类单体为低极性的丙烯酸酯单体。

4.如权利要求3所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述低极性的丙烯酸酯单体选自由丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、环状三羟甲基丙烷甲缩醛丙烯酸酯、丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异辛酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸2-乙基己酯、乙氧基化1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化二丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二丙烯酸酯、2-甲基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化2-甲基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、二-三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化甘油三(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯及它们的组合所组成的组。

5.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述第一有机溶剂选自由甲苯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇双异丁酸酯、丙二醇单甲醚醋酸酯、甲基乙基酮、甲基正戊基酮、环己酮、N,N-二甲基乙胺、N-甲基吡咯烷酮、1,3-环己二甲胺、聚马来酸、丁基卡必醇醋酸酯、二乙二醇单乙醚醋酸酯、二乙二醇、乙二醇单丁醚醋酸酯、2,4-二甲基-3-戊酮、环己烷、戊二酸二甲酯、丁二酸二甲酯、己二酸二甲酯、醋酸丁酯、松油醇、乙二醇苯醚、二乙二醇单丁醚、尼龙酸二甲酯及它们的组合所组成的组。

6.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，还包含一触变剂。

7.如权利要求6所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述触变剂选自由无机硅酸盐、二氧化硅、有机膨润土、石棉、高岭土、凹凸棒土、碳酸钙、乳液法聚氯乙烯、酰胺蜡、聚乙烯蜡、蓖麻油衍生物、山梨醣醇、来自植物油的聚合物、聚氨酯、金属皂、及它们的组合所组成的组。

8.如权利要求6所述的抗蚀刻组合物，其特征在于以所述抗蚀刻组合物的总重量计，所述触变剂的含量为约0.1重量%至约5.0重量%。

9.如权利要求1所述的抗蚀刻组合物，还包含一分子量小于约100000的粘附促进剂。

10.如权利要求9所述的抗蚀刻组合物，其特征在于所述粘附促进剂选自由硅烷偶联剂、磷酸酯、钛酸酯、锆酸酯、氯化聚烯烃及它们的组合所组成的组。

11.如权利要求9所述的抗蚀刻组合物，其特征在于以所述抗蚀刻组合物的总重量计，所述粘附促进剂的含量为约1.0重量%至约5.0重量%。