[发明专利]一种大型平面靶材和背板的粘接方法

权利要求书

1.一种大型平面靶材和背板的粘接方法，其特征在于：包括如下依次进行的四个步骤：

Ⅰ、粘接前处理：对靶材（3）和背板（1）的表面进行磨加工处理，让表面的粗糙度达到0.32μm至0.8μm；然后在粘接面镀上若干层过渡材料；所述过渡材料是指热膨胀系数介于靶材（3）和背板（1）之间的金属；

Ⅱ、预涂焊料：将背板（1）和靶材（3）加热至温度高于焊料的液相线以上10～50℃，然后将焊料涂覆在背板（1）和靶材（3）粘接面的表面形成均匀的焊料薄层；之后，在任一粘接面上再涂覆一层鱼骨形的焊料（4）或者放置一块鱼骨形的焊料预制件（4）；

Ⅲ、粘接：将靶材（3）和背板（1）上下放置，两粘接面接触；放置稳妥并定位后，在垂直平板方向施加10～100MPa的压力，然后在常压或者真空炉内加热；

所述加热条件为：常压加热时，直接在加热平台上加热至温度高于焊料液相线10～50℃以上；真空炉内加热时，将靶材和背板放进真空炉内，抽真空至10Pa，然后加热至焊料熔化；

Ⅳ、粘接后处理：清理靶材和背板的非粘接面并将背板非粘接面磨光，监测靶材粘接率；

所述的鱼骨形焊料或者鱼骨形焊料预制件是指：该焊料或焊料预制件具有一条位于中心位置且与靶材（3）或背板（1）的粘接面等长的纵向焊料，纵向焊料的两侧是走向与纵向焊料走向相垂直的若干条横向焊料，相邻横向焊料间具有间隙，且两侧横向焊料的总宽度与靶材（3）或背板（1）粘接面等宽。

2.如权利要求1所述的大型平面靶材和背板的粘接方法，其特征在于：所述的靶材为下述材料中的一种：W、Mo、WTi、MoNb、SiCr、Cr、TiAl、SiAl、NiCrSi、Ta₂O₅、MgF₂、Al₂O₃、TiO₂、LiCoO₂；所述的背板为下述材料中的一种：紫铜背板、铝合金背板、不锈钢背板、钼背板；所述的焊料为下述材料中的一种：铟、锡铜、锌锡、锡银、锡银铜、铝、银。