[发明专利]一种硅片检测仪

权利要求书

1.一种硅片检测仪，其特征在于，包括支撑体（1）、千分表（2）和砝码（3）；所述支撑体（1）具有支撑面水平的支撑件（11），所述支撑件（11）支撑待测硅片（4）的周部；所述支撑件（11）的外侧具有定位件（12），所述定位件（12）的内侧接触所述待测硅片（4），所述待测硅片（4）每边接触至少一个所述定位件（12）；所述千分表（2）位于所述支撑体（1）内部，所述千分表（2）指针的中心线穿过所述待测硅片（4）的几何中心；所述砝码（3）的组合能够组成预定的重量，并放置在所述待测硅片（4）的中央。

2.如权利要求1所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑件（11）为至少三个支撑柱，所述支撑柱均匀分布在所述待测硅片（4）的周部。

3.如权利要求2所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑件（11）设置为四个所述支撑柱，四个所述支撑柱分别位于所述待测硅片（4）的四角。

4.如权利要求3所述的硅片检测仪，其特征在于，所述待测硅片（4）每边接触两个所述定位件（12），所述待测硅片（4）每条边外侧的两个所述定位件（12）均位于此边的两端。

5.如权利要求4所述的硅片检测仪，其特征在于，所述定位件（12）为定位块，相邻侧面的所述定位块的内侧构成直角结构。

6.如权利要求4所述的硅片检测仪，其特征在于，所述定位件（12）为定位柱。

7.如权利要求1至6任一项所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑柱的支撑端为球面。

8.如权利要求1至6任一项所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑柱的支撑端为平面。

9.如权利要求1所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑件（11）为支撑框架，所述定位件（12）为定位框架。

10.如权利要求9所述的硅片检测仪，其特征在于，所述支撑框架与所述定位框架为一体结构。