[发明专利]准分子灯及具备该准分子灯的灯单元

说明书

本申请是申请日为2009年4月9日，申请号为200910134819.6，发明名称为“准分子灯及具备该准分子灯的灯单元”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，特别涉及在准分子灯的端部具备灯保持部的准分子灯及具备该准分子灯的灯单元。

背景技术

在传统工艺中，如专利文献1所示，在半导体基板或液晶基板的制作工序中，将清洗基板作为目的，使用具备照射真空紫外线的准分子灯的灯单元。

图20是表示从与现有技术的准分子灯103的长度方向正交的切剖面观看的紫外线照射装置100的结构的剖面图，图21是表示从图20所示的E—E切剖面观看的紫外线照射装置100的剖面图。

如这些图所示，紫外线照射装置100由灯单元101(图上方)及搬运机构102(图下方)构成，该灯单元101在大约箱状地构成的筐体104内具备准分子灯103，该搬运机构102是载置灯单元101且搬运被照射物W。

如这些图所示，灯单元101包括由设置于灯单元101的筐体104内部的多支准分子灯103，及收容准分子灯103且加以保持的筐体104。准分子灯103通过灯保持体111经隔间壁110被支撑于筐体104。搬运机构102具备：多个滚子109，载置灯单元101的筐体104，而且并列配置于内部；以及驱动体110，设于各滚子109的两端，而且旋转驱动滚子109。从搬运机构的搬入口被搬入的被照射物W，被载置于滚子109上，通过滚子109被旋转驱动，被搬入至准分子灯103的正下方。被搬入的被照射物W是与准分子灯103靠近，被照射来自准分子灯103的真空紫外线。被真空紫外线照射的被照射物W被从搬出口搬出。

图22是表示图20及图21所示的准分子灯103的立体图，图23是表示图21所示的准分子灯103的一个端部(被圆圈包围的部位)的放大剖面图，图24是表示从图23所示的F-F切剖面所观看的准分子灯103的一个端部的剖面图。

如这些图所示地，准分子灯103具备大约长方体的放电容器105，而相对于其长度方向的垂直方向的剖面为长方形，而在放电容器105的上下两表面，以沿着放电容器的长度方向延伸的方式，设有网状的一个外部电极106及另一个外部电极107。在放电容器105的两端，设有引线保持体112，该引线保持体112保持一个引线114及另一个引线115，该一个引线114连接于一个外部电极106，该另一个引线115连接于另一个外部电极107，而从引线保持体112能够拉出一个引线114及另一个引线115。

专利文献1：日本特开2005—197291号公报

一般，图22所示的准分子灯103中设的引线保持体112具备如下所示的3种功能。一般，第1种功能是：由于引线114、115与外部电极106，107利用焊剂的焊接被电连接，因而由于要确保维持两者的连接，就需要保持引线114、115，例如，将被连接于准分子灯103的外部电极106、107的引线114、115设置于放电容器105与引线保持体112之间，而将引线114、115压接在放电容器105与引线保持体112之间并予以保持。第2种功能是：被固定于放电容器105的功能，例如，在引线保持体112与放电容器105之间的空隙填充粘合剂116，而把引线保持体112固定在放电容器105的外表面。第3种功能是：防止放电容器105外表面的外部电极106、107间的绝缘击穿的功能，例如，抵接于引线114、115的引线保持体112由具有电绝缘性的构件所构成，防止放电容器105外表面的外部电极106、107间的沿面放电。

图21至图24的现有技术的引线保持体112，是具备上述的第1种至第3种的功能，在准分子灯103与被照射物W相对配置的灯单元101中，为了使得从准分子灯103照射在被照射物W的真空紫外线，尽量不会被氧气吸收而有效率地被照射在被照射物W，必须尽量靠近地配置准分子灯103与被照射物W。准分子灯103与被照射物W间的距离，是例如必须靠近在3~5mm的范围。但是，图21至图24的现有技术的引线保持体112，为具有如陶瓷的电绝缘性的构件所构成，则从放电容器105的平坦面会突出着引线保持体112的厚度部分，而该厚度部分会使得准分子灯103与被照射物W间的距离L10的靠近化变得困难。即，引线保持体112的第4中功能是必须构成为：不会对准分子灯103与被照射物w的靠近配置构成妨碍。

发明内容