[发明专利]制造工件的方法

权利要求书

1.一种制造工件的方法，用于通过使工件和在单位去除量中具有各向异性的工具进行相对扫描来加工工件，

该方法包括：

根据在工件各个位置的目标去除量和作为单位时间工具加工量的单位去除量，计算在各个位置的第一驻留时间，并且进一步根据第一驻留时间和单位去除量来计算第一计算去除量，从而确定第一差值，该第一差值作为第一计算去除量和目标去除量之间的差值；和

改变工件和工具的相对方位，在改变后的相对方位，根据在工件各个位置的目标去除量和作为单位时间工具加工量的单位去除量来计算在各个位置的第二驻留时间，并且进一步根据第二驻留时间和单位去除量来计算第二计算去除量，从而确定第二差值，该第二差值作为第二计算去除量和目标去除量之间的差值，

其中，当第二差值小于第一差值时，在工具和工件定位成具有改变后的相对方位的状态下加工工件。

2.一种制造工件的方法，用于通过使工件和在单位去除量中具有各向异性的工具进行相对扫描来加工工件，

该方法包括：

使工件和工具的相对方位改变多个相对旋转角度，根据在工件各个位置的目标去除量和作为单位时间工具加工量的单位去除量，计算对于所述多个相对旋转角度中每一个相对旋转角度的在各位置的驻留时间，并且进一步根据驻留时间和单位去除量来计算出计算去除量，从而确定在计算去除量和目标去除量之间的差值；和

把分别对于所述多个相对旋转角度计算的差值进行相互比较，从而确定具有最小差值的相对旋转角度，

其中，在工具和工件定位成具有所确定相对旋转角度的方位的状态下加工工件。

3.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工具包括轮胎型旋转工具。

4.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工具包括磁流变研磨工具。

5.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工具包括离子束辐照设备。

6.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工件包括光学元件。

7.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工件包括模具。

8.根据权利要求1所述的制造工件的方法，其中，工件包括半导体衬底。