[发明专利]条状部件的去毛边方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种条状部件的去毛边方法及装置，且该条状部件包含进行过树脂成型的模制导线框架条（Molded Lead Frame Strip），特别是涉及一种条状部件的去毛边方法及装置，该方法针对电镀处理过程的前后所进行的电解去毛边步骤，在电解去毛边步骤前或在电解去毛边步骤中，增加将化学溶液以喷射流的形式对条状部件的表面进行加压的步骤，从而改善电解去毛边步骤的效率。

背景技术

一般而言，半导体的制造步骤中，在根据树脂成型而实行的密封过程之后，会进行去毛边（Deflash）过程，该去毛边过程用于在电镀过程之前对于将要进行电镀的部位或者是电镀过程之后对于进行过电镀的部位除去毛边（Flash）。

现有的去毛边过程中，依序进行浸渍步骤、清洗（Rinse）步骤、电解去毛边步骤、再次清洗步骤、以及水喷注步骤，其中浸渍步骤中通常是将条状部件浸渍于化学溶液中一定时间，清洗步骤中清洗条状部件的表面，电解去毛边步骤中对于清洗过的条状部件在浸渍的状态下进行电解去毛边以剥离除去毛边，再次清洗步骤中再次清洗条状部件的表面，并且，水喷注步骤是用于除去残留的毛边。

即，依序进行浸渍步骤、清洗步骤、电解去毛边步骤、再次清洗步骤、以及水喷注步骤，而这种现有方式的去毛边过程中的电解去毛边步骤，由以下述步骤进行：在将清洗过的条状部件浸渍于化学溶液（例如氢氧化钾溶液）的状态下，以条状部件作为阴极，钛或铂等不溶性金属作为阳极，在此状态下施加电源，并从条状部件的芯片搭载部位或导线框架的表面产生氢气，从而使形成于条状部件的表面的毛边剥离。

然而，要将现有的电解去毛边步骤方式实际应用于各种形状的条状部件时，由于无法一次性进行毛边的剥离，频繁地产生不良品，致使要达到去毛边的要求质量必须进行好几次去毛边作业，从而不仅导致生产效率低下，也会导致制造成本上升的问题。

发明内容

本发明为了消除现有技术的问题而开发出来，为了在条状部件的情况下更有效地除去毛边，在进行电解去毛边步骤时，以喷射流的形式将化学溶液不漏掉任何一处地施加至处在浸渍于化学溶液的状态下的条状部件的表面全体部位，则化学溶液容易浸透至条状部件的实际表面与毛边之间，因此在实际进行电解去毛边步骤的情况下，可更简单地使毛边从条状部件的表面剥离的现象轻易发生，本发明基于以上原理进行发明的研究开发。

本发明的目的在于：通过增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤而更有效地进行电解去毛边步骤，该化学溶液的喷射加压浸透步骤作为用于剥离毛边（包含附着在条状部件的密封部或导线部上的气泡或异物）的前处理至中间处理作业，并且将化学溶液以喷射流的形式对处在浸渍于化学溶液的状态下的条状部件的表面进行加压。

本发明的另一目的在于：可仅进行一次电解去毛边步骤便能使毛边的剥离到达要求的质量，不仅改善生产效率，也节省制造成本，从而确保产品的竞争力。

为了达成这样的各个目的，本发明提供了一种条状部件的去毛边方法，该方法在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边的条状部件的去毛边方法，其中，在进行电解去毛边步骤时，增加化学溶液的喷射流加压浸透步骤，该电解去毛边步骤用于剥离残留于条状部件的密封部或导线部上的毛边，而化学溶液的喷射流加压浸透步骤是将化学溶液以喷射流的形式对处在浸渍于化学溶液状态下的条状部件的表面进行加压。

又，本发明提供一种条状部件的去毛边装置，该装置在半导体的制造步骤中根据树脂成型而实行的密封步骤之后，用于剥离除去在电镀步骤前后所残留的毛边的条状部件的去毛边装置，其中，以条状部件为中心在两侧设置喷射流发生器本体，且在该喷射流发生器本体上连接设置用于在加压状态下急送化学溶液的化学溶液加压急送机构，并将该条状部件与该喷射流发生器本体，设置成处在化学溶液的浸渍状态下并位于化学溶液单元的内部。

根据本发明，作为用于剥离毛边（包含附着在条状部件的密封部或导线部上的气泡或异物）的处理作业，通过增加将化学溶液以喷射流的形式对条状部件的表面进行加压的化学溶液的喷射流加压浸透步骤，可更有效地进行电解去毛边步骤，而且可仅进行一次电解去毛边步骤便使毛边的剥离到达要求的质量，从而不仅可以改善生产效率，还可以节省制造成本，达到确保产品竞争力等的效果。

附图说明

图1表示本发明的去毛边方法的步骤图。

图2表示本发明的去毛边方法的另一实施方式的步骤图。

图3表示本发明的去毛边方法的又一实施方式的步骤图。

图4表示本发明的去毛边方法的一实施方式的概略正面图。