[发明专利]放射线图像拾取装置和包括它的放射线图像拾取显示系统

说明书

技术领域

本公开涉及例如适合于用于医疗保健或者非破坏性检查的X射线摄影的放射线图像拾取装置，以及包括它的放射线图像拾取显示系统。

背景技术

近年来，作为以电气信号的形式获取图像的技术(通过使用光电转换的图像拾取技术)，使用电荷耦合器件(CCD)图像传感器或者互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的技术是主流。这种图像传感器中的图像捕捉区域受限于结晶基板(硅晶片)的尺寸。然而，近来，例如，在进行X射线摄影的医疗保健领域等中，需求图像捕捉区域的面积增大化。另外，对动态图像性能的要求也在增加。

作为例如用于捕捉人体胸部图像的X射线图像拾取装置等需要面积增大化的图像拾取装置，已开发出了在不使用放射线摄影胶片的情况下，以电气信号的形式基于放射线获得图像的放射线图像拾取装置。这种放射线图像拾取装置是在包括有例如光电二极管等光电转换元件以及薄膜晶体管(TFT)的电路基板上设置波长转换层(由荧光体或者闪烁体制成)。在这种放射线图像拾取装置中，在入射来的放射线被转换成可见光后，所得的可见光入射到光电转换元件，并且通过包括薄膜晶体管的电路来读取基于光电转换元件中接收到的可见光量获得的电气信号。

这里，用于形成波长转换层的技术包括：第一技术；和第二技术。在该情况下，对于第一技术，通过利用蒸发方法在包括有光电转换元件和晶体管的如上所述的基板(以下称为“传感器基板”)上紧紧地形成闪烁体材料。此外，对于第二技术，在传感器基板上设置单独于传感器基板形成的波长转换板。例如，日本专利特开No.2009-300213提出了这样一种闪烁体板，其中形成在基板上的闪烁体层被保护膜覆盖。

然而，当使用日本专利特开No.2009-300213中描述的闪烁体板时，在传感器基板与闪烁体之间发生结露，这导致暗电流增大。由于暗电流的发生导致像质降低，所以期望对此做出改进。

发明内容

本公开的做出是为了解决上述问题，因此希望的是提供一种能够抑制由于结露而发生的像质降低的放射线图像拾取装置，以及包括它的放射线图像拾取显示系统。

为了实现上述期望，根据本公开的一个实施例，提供了一种放射线图像拾取装置，其包括：包括光电转换元件的传感器基板；设置在所述传感器基板的一部分上的非离子层；和设置在所述非离子层上、并且将放射线的波长转换成处于所述光电转换元件的感度范围内的波长的波长转换构件。

根据本公开的另一实施例，提供了一种放射线图像拾取显示系统，其包括：基于放射线获取图像的图像拾取装置(如本公开一个实施例所述的放射线图像拾取装置)；和在其上显示从所述图像拾取装置获取的图像的显示装置，所述图像拾取装置包括：包括光电转换元件的传感器基板；设置在所述传感器基板的一部分上的非离子层；和设置在所述非离子层上、并且将放射线的波长转换成处于所述光电转换元件的感度范围内的波长的波长转换构件。

在所述实施例的放射线图像拾取装置以及另一实施例的放射线图像拾取显示系统中，在入射的放射线透过波长转换构件后，所得放射线被光电转换元件接收，由此获得与接收到的放射线的量相对应的电气信号(图像信息)。这里，当结露使水在波长转换构件与传感器基板之间会集时，包含在水中的离子成分与光电转换元件(光电转换元件的电极，或者类似物)的耦合在一些情况下使暗电流增大。然而，非离子层的设置抑制了这种耦合，从而使得暗电流难以生成。

如以下给出的，根据本公开的实施例，由于在波长转换构件与传感器基板之间设置有非离子层，所以即使在波长转换构件与传感器基板之间发生结露时，也能够抑制因结露的发生导致的暗电流的增大。因此，能够抑制由于结露的发生出现的像质降低。

附图说明

图1是示出本公开第一实施例的放射线图像拾取装置的示意性结构的局部截面图；

图2是示出图1所示第一实施例的放射线图像拾取装置中的传感器基板的整体构造的功能框图；

图3是示出图2所示单位像素中的像素电路(与主动驱动系统相符)的构造的电路图；

图4A-4L分别是以工艺顺序说明图1所示第一实施例的放射线图像拾取装置中的光电二极管的制造方法的截面图；

图5是说明本公开第一实施例的比较示例的放射线图像拾取装置的操作的截面图；

图6是示出本公开第一实施例的变型例1的放射线图像拾取装置的示意性结构的局部截面图；

图7是示出本公开第一实施例的变型例2的放射线图像拾取装置的示意性结构的局部截面图；