[发明专利]非自我对准的非挥发性存储器结构无效
申请号: | 201210161164.3 | 申请日: | 2012-05-22 |
公开(公告)号: | CN103426885A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 林信章;黄文谦;范雅婷 | 申请(专利权)人: | 亿而得微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L29/792 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨;李涵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自我 对准 挥发性 存储器 结构 | ||
1.一种非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,其包含有:
一半导体基底;
一左浮动栅极存储器晶胞与一右浮动栅极存储器晶胞,其形成于该半导体基底上,该左浮动栅极存储器晶胞的漏极与该右浮动栅极存储器晶胞的漏极分别接到不同电压准位;
一控制栅极,其位于该左浮动栅极存储器晶胞与该右浮动栅极存储器晶胞上,且该控制栅极涵盖该左浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极与该右浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极,以同时控制该左浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极与该右浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极;以及
一栅极绝缘层,其是位于该左浮动栅极存储器晶胞、该右浮动栅极存储器晶胞与该控制栅极之间。
2.根据权利要求1所述非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该控制栅极非位于该左浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极与该右浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极上方的部分的左右边界是各大于或等于该左浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极与该右浮动栅极存储器晶胞的浮动栅极的外侧边界。
3.根据权利要求1所述的非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该栅极绝缘层的材质为四乙氧基硅烷氧化层。
4.根据权利要求1所述的非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该控制栅极的材质为多晶硅。
5.根据权利要求1所述的非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该半导体基板中更包括一井型区,且该左浮动栅极存储器晶胞与该右浮动栅极存储器晶胞是位于该井型区。
6.根据权利要求1所述的非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该左浮动栅极存储器晶胞与该右浮动栅极存储器晶胞各包含有:
一浮动栅极绝缘层,其是位于该半导体基板上;
一浮动栅极,其是位于该浮动栅极绝缘层上;以及
一漏极与一源极,其是位于该半导体基板中,且分别位于该浮动栅极绝缘层的二侧,并与该浮动栅极绝缘层邻接。
7.根据权利要求1或6所述的非自我对准的非挥发性存储器结构,其特征在于,该右浮动栅极存储器晶胞与该左浮动栅极存储器晶胞的源极是共用的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的