[发明专利]一种真空精密位移装置

权利要求书

1.一种真空精密位移装置，包括：安装在真空腔上的底法兰(1)；顶法兰(2)；连接所述底法兰(1)与所述顶法兰(2)的波纹管(7)，所述波纹管(7)的轴线方向定义为纵向方向；用于安装所述顶法兰(2)的位移台(3)，所述顶法兰(2)能够相对所述位移台(3)平动；以及用于驱动所述顶法兰(2)运动的运动机构，所述运动机构包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)，所述第一运动装置(5)能够使所述顶法兰(2)相对所述位移台(3)平动，所述第二运动装置(6)能够使所述位移台(3)相对所述底法兰(1)发生纵向运动，其特征是，所述第二运动装置(6)连接所述底法兰(1)与所述位移台(3)，所述真空精密位移装置包括至少两组所述第二运动装置(6)，它们以大致均匀间隔的方式设置在所述底法兰(1)上，所述至少两组第二运动装置(6)在使所述位移台(3)运动的同时支撑所述位移台(3)。

2.根据权利要求1所述的真空精密位移装置，其特征是，所述第二运动装置(6)包含螺纹运动装置，所述螺纹运动装置包括分别具有相互配合的内螺纹件和外螺纹件，所述内螺纹件和所述外螺纹件其中一方与所述位移台(3)连接而另一方与所述底法兰(1)连接。

3.根据权利要求2所述的真空精密位移装置，其特征是，所述内螺纹件包括固定连接所述底法兰(1)上并具有螺纹孔的支撑杆(9)，所述外螺纹件包括可转动地连接所述位移台(3)并与所述螺纹孔配合的螺杆(12)。

4.根据权利要求3所述的真空精密位移装置，其特征是，所述位移台(3)和所述底法兰(1)在侧面分别具有相应的安装所述至少两组所述第二运动装置(6)的凸台(13)和凸块(14)，所述支撑杆(9)在一端固定连接在所述凸块(14)上并在另一端具有所述螺纹孔，所述螺杆(12)可旋转不可滑动地连接在所述位移台(3)的凸台(13)上，所述第二运动装置(6)上具有能够指示位移距离的刻度。

5.根据权利要求2所述的真空精密位移装置，其特征是，所述内螺纹件包括固定连接到所述位移台(3)并具有螺纹孔的固定套筒，所述外螺纹件包括可转动地连接所述底法兰(1)并与所述螺纹孔配合的螺杆。

6.根据权利要求5所述的真空精密位移装置，其特征是，所述位移台(3)和所述底法兰(1)在侧面分别具有相应的安装所述至少两组所述第二运动装置(6)的凸台(13)和凸块(14)，所述固定套筒固定在所述凸台(13)上，所述螺杆一端连接所述凸块(14)并穿过所述凸台(13)与所述固定套筒中的螺纹孔配合，所述第二运动装置(6)上具有能够指示位移距离的刻度。

7.根据权利要求4或6所述的真空精密位移装置，其特征是，所述刻度精确至0.01毫米。

8.根据权利要求1所述的真空精密位移装置，其特征是，所述真空精密位移装置还包括连接所述位移台(3)和所述底法兰(1)并能够引导所述位移台(3)相对所述底法兰(1)的纵向运动的导向杆(8)。

9.根据权利要求8所述的真空精密位移装置，其特征是，所述真空精密位移装置包括两组所述第二运动装置(6)和两根所述导向杆(8)均匀交替间隔地设置在所述底法兰(1)上。

10.根据权利要求9所述的真空精密位移装置，其特征是，所述底法兰(1)在侧面具有四个中心对称分布的凸块(14)，其中两个对置的所述凸块（14）分别用于连接所述两组第二运动装置（6），其余两个凸块（14）分别用于连接所述两根导向杆（8）。