[发明专利]晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置

权利要求书

1.一种晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其包括水冷籽晶杆、连杆以及籽晶夹，其特征在于，所述水冷籽晶杆包括外管和套于外管内的内管，所述内管与外管之间形成水冷流道，且两者之间通过挡水板将水冷流道分割成底部连通的两个区域，配合该两个区域于所述外管上对应开设进、出水口，上法兰和底部法兰密封连接内管和外管的两端；中间法兰设置于外管上的进、出水口的下方，所述籽晶夹由引杆和夹头组成，所述引杆的一端连接夹头，另一端连接连杆，所述连杆穿入内管中与称重传感器连接。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述挡水板将水冷流道均分为两个区域。

3.根据权利要求1所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述进、出水口均设置于距外管顶端的20mm处。

4.根据权利要求1所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述内、外管为不锈钢管，所述挡水板为长条状不锈钢板，所述上法兰为T型不锈钢法兰，底部法兰和中间法兰均由不锈钢制成。

5.根据权利要求1所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述连杆为不锈钢材质的圆棒。

6.根据权利要求1所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述引杆和夹头均由钼质材料制成。

7.根据权利要求1或4任一项所述的晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其特征在于，所述上法兰和底部法兰与内管和外管的两端焊接密封连接。