[发明专利]一种化学镀铜液及其制备方法有效
申请号: | 201210159392.7 | 申请日: | 2012-05-22 |
公开(公告)号: | CN103422078A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 韦家亮 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 镀铜 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明属于化学镀铜领域,尤其涉及一种化学镀铜液及其制备方法。
背景技术
自20世纪40 年代Brenner和Ridlell 首先开发化学镀铜技术以来,经过半个世纪的努力,这种技术已在国民经济的各个领域得到了应用。化学镀铜在化学镀中占有十分重要的地位,目前已广泛应用于非金属电镀的底层、印制板的孔金属化和电子仪器的电磁屏蔽层等各个方面。
目前,大多数商品化学镀铜溶液采用甲醛作为还原剂,反应过程中存在两个基本化学反应,即:
Cu2+ + 2e → Cu;
2HCHO + 4OH- → H2↑+ 2H2O + 2HCOO- + 2e。
总反应式可表示为:
Cu2+ + 2HCHO + 4OH- → Cu + H2↑+ 2H2O + 2HCOO- 。
在化学镀铜的过程中,除铜离子在催化表面进行被甲醛还原成金属铜之外,还存在许多副反应,例如包括:
康尼查罗(Cannizzaro)反应: 2HCHO + OH- →CH3OH + HCOO-
非催化型反应: 2Cu2+ + HCHO + 5OH- →Cu2O↓+ 2HCOO- + 3H2O。
氧化亚铜也可能被进一步还原成微粒铜,即:
Cu2O+ 2HCHO + 2OH- →2Cu↓+ 2HCOO- + H2↓+ H2O。
上述副反应不仅消耗镀液中的有效成分,而且产生的氧化亚铜易悬浮在镀液中难以除去,引起镀液分解,若与铜共沉积,得到的铜沉积层疏松粗糙、与基体结合力差。
化学镀铜溶液主要是由铜盐、还原剂、络合剂、稳定剂、pH值调节剂和其他添加剂组成。目前,化学镀铜液已经逐渐实现了连续高密度生产,但由于化学镀铜的厚度要求越来越高,因此需要长时间在镀铜液中反应,但反应时间过长镀层容易氧化,镀层质量则难以得到保证。
发明内容
本发明解决了现有技术中存在的长时间化学镀铜时镀层表面易氧化、导致镀层质量难以保证的技术问题。
本发明提供了一种化学镀铜液,所述化学镀铜液中含有氯化铜、香草醛、络合剂、稳定剂、还原剂和表面活性剂;所述氯化铜的含量为5-10g/L,所述香草醛的含量为1-5g/L。
本发明还提供了所述化学镀铜液的制备方法,包括先将氯化铜、香草醛、络合剂、稳定剂、还原剂和表面活性剂分别溶于水制备各自的水溶液,然后将氯化铜水溶液与络合剂水溶液先混合,再与其它水溶液混合,即得到所述化学镀铜液。
本发明提供的化学镀铜液,通过采用渗透性强的氯化铜提供二价铜离子,作为沉积铜来源,同时镀液中含有香草醛,会吸附于待镀工件表面且不影响化学镀铜反应的进行,其一方面可用作还原剂,促进化学镀铜的反应进行,另一方面其能与氯化铜形成配合物,并吸附于铜层表面,使得氧气无法与刚沉积的铜原子接触而有效避免镀层被氧化,从而保证镀层质量。
具体实施方式
本发明提供了一种化学镀铜液,所述化学镀铜液中含有氯化铜、香草醛、络合剂、稳定剂、还原剂和表面活性剂;所述氯化铜的含量为5-10g/L,所述香草醛的含量为1-5g/L。
本发明提供的化学镀铜液,通过采用渗透性强的氯化铜提供二价铜离子,作为沉积铜来源,同时镀液中含有香草醛,会吸附于待镀工件表面且不影响化学镀铜反应的进行,其一方面可用作还原剂,促进化学镀铜的反应进行,另一方面其能与氯化铜形成配合物,并吸附于铜层表面,使得氧气无法与刚沉积的铜原子接触而有效避免镀层被氧化,从而保证镀层质量。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理