[发明专利]多平台系统、用于多平台系统的控制方法以及光刻设备

权利要求书

1.一种多平台系统，包括：

定子，基本上平行于第一方向延伸；

第一平台，相对于定子沿第一方向是可移动的；

第二平台，相对于定子沿第一方向是可移动的；

其中第一平台和第二平台中每一个设置有磁体系统以产生磁场，

其中定子设置有多个电绕组，所述电绕组配置成与由第一平台和第二平台的磁体系统产生的磁场相互作用以便产生对第一平台和第二平台的力以相对于定子定位它们，

传感器，配置成相对于定子确定第一平台和第二平台的位置；

控制器，配置成沿第一方向相对于定子定位第一平台和第二平台，其中控制器配置成：

基于传感器的输出确定第一平台在第一方向上相对于定子的位置；

选择电绕组的第一子组，所述电绕组的第一子组能够具有与在所确定的第一平台位置处的第一平台的磁体系统的磁场的不可忽略的相互作用；

基于传感器的输出确定第二平台相对于定子在第一方向上的位置；

选择电绕组的第二子组，所述电绕组的第二子组能够具有与在所确定的第二平台位置处的第二平台的磁体系统的磁场的不可忽略的相互作用；和

激励第一子组和第二子组中的电绕组以便相对于定子定位第一平台和第二平台，

其中控制器配置成在激励第一子组和第二子组中的电绕组之前进行如下步骤：

确定作为第一子组的一部分且作为第二子组的一部分的电绕组；和

排除作为第一子组的一部分且作为第二子组的一部分的至少一个电绕组使其不受激励。

2.如权利要求1所述的多平台系统，其中定子基本上平行于第二方向延伸，其中所述第二方向基本上垂直于第一方向；

其中第一平台和第二平台相对于定子沿第一和第二方向是可移动的；和

其中控制器还配置成：

基于传感器的输出确定第一平台相对于定子在第二方向上的位置；和

基于传感器的输出确定第二平台相对于定子在第二方向上的位置。

3.如权利要求1所述的多平台系统，其中基于将要针对第一平台获得的所需要的定位精确度来选择第一子组，并且其中基于将要针对第二平台获得的所需要的定位精确度选择第二子组。

4.如权利要求1所述的多平台系统，其中至少激励直接地且完全地处在相应的磁体系统下面的电绕组。

5.如权利要求1所述的多平台系统，其中第一子组中的至少9个绕组和第二子组中的至少9个绕组被激励。

6.如权利要求1所述的多平台系统，其中控制器配置成通过排除电绕组使其不受激励来允许第一平台和第二平台彼此靠近。

7.如权利要求6所述的多平台系统，其中控制器配置成，当通过激励第一和第二子组中的全部电绕组而使第一和第二平台已经彼此靠近并且接触时，将第一和第二平台作为单个平台进行控制。

8.如权利要求7所述的多平台系统，其中每个磁体系统包括第一磁体和第二磁体，第一磁体具有基本上垂直于承载体并且方向朝向该承载体的磁化方向，第二磁体具有基本上垂直于承载体并且方向背向该承载体的磁化方向，第一和第二磁体根据行和基本上垂直于行的列的图案布置，使得第一和第二磁体交替地布置在每一行和每一列中，并且其中两个平台能够定位成使得当第一和第二平台彼此接触时，第一平台的磁体系统的图案在第二平台的磁体系统中延续。

9.如权利要求8所述的多平台系统，其中每个磁体系统具有奇数数量的行和奇数数量的列，并且其中第一平台的磁体系统具有布置在对角线上的第一磁体，第二平台的磁体系统具有布置在对角线上的第二磁体。

10.如权利要求7所述的多平台系统，其中控制器配置成激励第一和第二子组中的电绕组，使得产生力以在只要情况需要时就将两个平台保持在一起并使其彼此接触。

11.一种光刻设备，包括根据权利要求1所述的多平台系统。