[发明专利]软件断联监控系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种软件断联监控系统及方法。

背景技术

在刻蚀、太阳能等半导体生产领域中，设备端软件包括设备控制软件、数据采集软件、CTC（Cluster Tool Controller，集簇设备控制器）软件等。这些软件需要保持连接状态，交互数据和各种服务，协同完成对整个设备的生产和产品质量控制。这些软件分布在不同计算机上，通过网络进行数据交互，在设备生产过程中要保证各个软件的连接必需正常。设备端控制软件，负责控制Wafer（晶圆）刻蚀工艺、记录各种工艺过程参数并把这些参数传送给CTC软件与APC（Automatic Power Control，自动功率控制）软件。APC软件负责接收设备控制软件传送的数据、分析数据，并根据相应的事件发送命令给设备软件进行工艺。CTC软件具有图形显示、用户交互，与上层软件交互等功能。这些软件需要交互信息，协同工作。但是在实际生产中因为各种原因，会出现其中的某些软件异常退出的情况，如网络连接问题、非正常操作、计算机异常、软件异常等等。这时就会造成某些功能的缺失，如果发现的晚，会造成较严重的后果。因此，对各个软件的连接状态需要进行监控。

目前，对软件连接状态的监控方法主要是通过对软件发出的数据进行判断。例如，某一软件以固定的周期改变并发出数据，而监控软件以相同的周期接收该软件发出的数据，通过判断接收的数据是否有变化来判断该软件是否断联。

现有技术的缺点是：因为监控软件与被监控软件以相同周期接收数据，所以监控的周期时间短，如果判断出现断联的情况，就根据情况抛出报警，这样的操作对于负责整个设备控制的软件来说，会花费较大的系统资源，对软件的性能也是一个较大的浪费。此外，这种方法会出现当监控软件读取数据在数据即将开始或即将结束变化（即数据传输波形的上升或下降沿）时，读取的数据就不会变化，始终为同一个值，这样就会造成判断错误。而且数据读取频率越高，出现读取错误的几率越大，这样出现错误判断的几率也越大。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的第一个目的在于提出一种软件断联监控方法，该方法可以减少软件对数据的读写次数，节约了成本，并大大降低了错误的几率。本发明的第二个目的还在于提出一种软件断联监控系统。

为了实现上述目的，本发明第一方面的实施例提出了一种软件断联监控方法，包括以下步骤：

S1：待测软件通过发送模块以第一周期T1改变发送数据；

S2：接收模块以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；以及

S3：根据获得的所述发送数据判断所述待测软件是否发生了断联。

根据本发明实施例的软件断联监控方法，可以通过配置接收模块的读取周期，减小软件相应的对联接状态监控的资源花费。同时由于读取数据频率降低，可以较大地减小出现错误的几率。此外，因为读取数据周期与数据变化周期不相同，解决了在数据传输波形上升沿或下降沿读取数据时，数据不会变化的问题，大大降低了误差。

在本发明的一个实施例中，所述S1包括：所述发送模块将改变后的数据发送至所述接收模块。

在本发明的另一个实施例中，所述S1包括：所述发送模块将改变后的数据共享给所述接收模块，以使所述接收模块读取所述改变后的数据。

在本发明的一个实施例中，所述S3进一步包括：

所述接收模块按照预设次数存储所述接收模块读取或接收的所述发送数据；

判断所述按照预设次数存储的所述发送数据是否相等；

如果判断相等，则计数器的值加1，并判断所述计数器的值是否达到预设值，当判断达到所述预设值，则判断所述待测软件发生了断联；以及

如果判断不相等，则将所述计数器的值清零。

在本发明的一个优选实施例中，所述预设次数为3-5次。

本发明第二方面的实施例还提出了一种软件断联监控系统，包括：发送模块，用于以第一周期T1改变发送数据；接收模块，用于以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；和判断模块，用于根据获得的所述改变的发送数据判断所述待测软件是否发生了断联。