[发明专利]双挡板真空闸阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空设备，尤其涉及一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的双挡板真空闸阀装置。

背景技术

太阳能发电是利用太阳光的辐射能量转化成电能并储存在蓄电池中为电器设备提供电力的发电形式。太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分，也是太阳能发电系统中价值最高的部分。其作用是将太阳能转化为电能，并送往蓄电池中存储起来，因此，太阳能电池板的质量将直接决定整个系统的质量。

在太阳能电池板制备过程中，尤其是非晶硅太阳能电池板制备过程中需要进行镀膜处理，而每一次的蒸镀（或溅镀，或覆膜）膜层都需要处于真空环境中进行。而真空设备中一般使用闸阀对腔体进行密封。

现有的闸阀中，一种是利用凸轮机构实现阀板水平方向的推动，阀板的上下运动用一个主气缸推动实现。在此方案中，凸轮加工精度要求非常高，需专业加工才能满足要求，一般加工厂较难实现。同时基本上只能承受单向密封压力，不能适用于双向的正反向密封和大尺寸阀体的场合。另一种是采用分布式小气缸加波纹管式结构，主要原理是在与阀板平行方向均匀分布多个专制的小气缸以及波纹管，实现阀板水平方向的推动，闸板的上下运动用两个主气缸推动。在此方案中，没有现成的小气缸选购，靠自己加工，精度要求非常高，需专业加工才能满足要求，一般加工厂较难实现，波纹管较多，实施可靠性不高，从而造成密封性能不理想。

因此，基于上述不足，需要一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的双挡板真空闸阀装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种既能面向大气压反向密封，又能背向大气压正向密封，且密封性能好的双挡板真空闸阀装置。

为了实现上述目的，本发明提供的双挡板真空闸阀装置，适用于对太阳能基板的镀膜或封装生产，包括阀体、纵向驱动机构、两对滑动座、一对阀板、密封圈、铰链座、弹簧、弹簧座、连杆及一对真空腔室；所述纵向驱动机构安装于所述阀体的下端面且输出端密封地伸入所述阀体内，所述阀体的两内侧面分别开设有开口，所述开口分别与所述真空腔室连通；所述铰链座及弹簧座上下依次地套接固定于所述纵向驱动机构的输出端上，所述弹簧一端与所述弹簧座抵触，另一端与所述阀板的下端抵触；所述连杆一端与所述铰链座铰接，另一端与所述阀板铰接；所述滑动座分别设置于所述开口的两侧，且所述滑动座的上半段开设有凹陷，所述阀板的两侧可上下滑动地安装于所述滑动座中；所述阀板的外侧面安装有所述密封圈，其中一所述阀板还开设有两侧相贯通的通气孔，所述纵向驱动机构推动所述弹簧座进而推动所述阀板上升，且在所述阀板上升到顶部时推动所述连杆，使所述阀板水平移动并卡持于所述凹陷内，从而使所述密封圈对所述开口密封，此时所述通气孔与对应的所述开口连通。

较佳地，所述滑动座上开设有滑动槽，所述阀板的两侧安装有滚子，所述滚子滑动地安装于所述滑动槽中。由于阀板对所述真空腔室进行密封时需要一个上升的过程，因此，为了保证上升的平稳顺畅，设置所述滑动槽及所述滚子，利用所述滑动槽及滚子的滚动配合，有利于减少所述阀板与所述滑动座之间的磨擦阻力，进行保证上升过程的流畅。

具体地，每一所述滑动座及所述阀板的两端分别设置的所述凹陷及滚子数量为三。其中一滚子设置于所述阀板侧面的上端，另一滚子设置于所述阀板侧面的中部，第三个滚子设置于前两滚子之间，这样使得所述阀板在所述滑动座上滑动时受力均匀，运行更稳定。

较佳地，所述纵向驱动机构包括气缸、连接轴及波纹管，所述连接轴的一端与所述气缸的输出端连接，另一端伸入所述阀体内，所述波纹管套接于所述气缸与所述阀体之间的连接轴上，且一端与所述阀体密封固定，另一端与所述气缸密封固定。利用所述气缸作为动力源，不但运行稳定而且容易控制，另外，通过将所述波纹管密封地套接于所述连接轴上，利用波纹管的可伸缩性，从而在不影响所述连接轴伸缩的情况下保证所述阀体的密封性。

具体地，所述纵向驱动机构还包括轴套，所述轴套安装于所述阀体的下端且伸入所述阀体内，并与所述连接轴套接。所述轴套可以将所述连接轴与所述阀体的下侧壁隔离，起到保护所述连接轴的作用。