[发明专利]真空吸盘式对位系统在审

专利信息
申请号: 201210154719.1 申请日: 2012-05-17
公开(公告)号: CN102683505A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 郭业祥;杨顺先;邓小明;刘惠森 申请(专利权)人: 东莞宏威数码机械有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;H01L21/68
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;郝传鑫
地址: 523000 广东省东莞市南城*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空 吸盘 对位 系统
【权利要求书】:

1.一种真空吸盘式对位系统,适用于对非接触的两工件进行对位,其特征在于:包括对位装置、固定平台装置、旋转平台装置、对位调节装置及底座,所述对位调节装置连接于所述底座上,所述旋转平台装置连接于所述对位调节装置的上方,所述固定平台装置设置于所述旋转平台装置的一侧,并与所述旋转平台装置相对应,所述对位装置设置于所述固定平台装置的上方,且所述固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接,其中

所述对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构,所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端,并可沿X轴方向水平滑动,所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端,并可沿Y轴方向水平滑动,所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上,且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上,并可相对所述底座沿Z轴方向运动。

2.如权利要求1所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述旋转平台装置包括旋转固定座、旋转调节机构、活动平台及第一真空接头,所述活动平台上开设有气孔,所述第一真空接头安装于所述活动平台的侧部,并与所述活动平台上开设的气孔相连通,所述活动平台旋转地连接于所述旋转固定座上,所述旋转固定座滑动地连接于所述X轴调节机构的上端,所述旋转调节机构连接于所述旋转固定座的侧部,并与所述活动平台连接。

3.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述旋转调节机构包括气性弹簧、第一挡块、第一轴套、第一旋钮及两第一固定支架,两所述第一固定支架间隔地固定于所述旋转固定座的一侧,所述第一挡块连接于所述活动平台上并位于两所述第一固定支架之间,所述第一旋钮穿设于其中一所述第一固定支架上,并与所述第一挡块的一侧连接,所述气性弹簧连接于另一所述第一固定支架上,并与所述第一挡块的另一侧相抵触,所述第一轴套套设于所述第一旋钮外。

4.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述固定平台装置包括固定平台、对位块及第二真空接头,所述固定平台上开设有气孔,所述固定平台设置于所述活动平台的一侧并与所述活动平台相对应,所述对位块设置于所述固定平台上,所述第二真空接头设置于所述固定平台的一侧,并与所述固定平台上开设的气孔相连通。

5.如权利要求1所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述对位装置包括左CCD镜头、右CCD镜头及显示系统,所述左CCD镜头、右CCD镜头均设置于所述固定平台装置的上方,并均与所述显示系统连接。

6.如权利要求2所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述X轴调节机构包括X轴固定座、第二挡块、第二支架、第二轴套、第二旋钮及第一弹簧,所述X轴固定座的上端与所述旋转固定座滑动连接,所述第一弹簧沿X轴的轴向设置于所述X轴固定座与所述旋转固定座之间,所述第二支架固定于所述X轴固定座的一端,所述第二挡块固定于所述旋转固定座上,且所述第二支架、第二挡块位于同一侧并沿X轴方向设置,所述第二旋钮穿设于所述第二支架上并与所述第二挡块连接,所述第二轴套套设于所述第二旋钮外并连接于所述第二旋钮与所述第二支架之间。

7.如权利要求6所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述X轴固定座的上表面开设有X轴方向的第一滑槽及一长槽,所述长槽的一端设置有第一挡片,且所述第一挡片设置于相对所述第二支架的另一端,所述旋转固定座的下端滑动地卡合于所述第一滑槽内,且所述第一弹簧容置于所述长槽内,所述第一弹簧的一端与所述第一挡片相抵触,所述第一弹簧的另一端与所述旋转固定座相抵触。

8.如权利要求6所述的真空吸盘式对位系统,其特征在于:所述Y轴调节机构包括Y轴固定座、第三挡块、第三支架、第三轴套、第三旋钮及第二弹簧,所述Y轴固定座的上端与所述X轴固定座的下端滑动连接,所述第二弹簧沿Y轴的轴向设置于所述Y轴固定座与所述X轴固定座之间,所述第三支架固定于所述Y轴固定座的一端,所述第三挡块固定于所述X轴固定座上,且所述第三支架、第三挡块位于同一侧并沿Y轴方向设置,所述第三旋钮穿设于所述第三支架上并与所述第三挡块连接,所述第三轴套套设于所述第三旋钮外并连接于所述第三支架与所述第三挡块之间。

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