[发明专利]具有托升推移机构的清洗机

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体及太阳能行业的制造设备，尤其涉及硅料、硅片等物料的槽式清洗机。

背景技术

硅料、硅片等清洗是太阳能行业与半导体行业硅材料制造过程的重要环节，其目的是清除硅料或硅片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染,从而保证其纯净度,保证产品质量。

硅料、硅片清洗机主要由设置于机架上的清洗槽、清洗液管路系统、超声波系统、加热系统、清洗抛动装置，以及物料篮输送系统和电控部分构成。物料篮用以承载需要清洗的硅片与硅料，由物料篮输送机构将物料篮逐个搬移至下一清洗槽位的清洗槽中，通过各清洗槽中的化学清洗液或纯水、超声波对物料篮所承载的硅片或硅料进行清洗，以清除硅片或硅料表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染。为了增强清洗效果，在清洗机中还需要增加相应的抛动机构，以使硅片硅料等物料在清洗槽中进行小幅度的上下抖运。

现有的物料篮输送机构主要有两种结构形式：一种结构形式是以移载机械手来进行物料篮的逐槽输送转移，移载机械手从物料篮上部空间降至一定位置以抓取一只物料篮，再将其从一个清洗槽提升输送到另一个清洗槽，每组机械手能负责数个清洗槽间物料篮的输送转移工作，如果清洗槽数量较多的话，则需要配备数组机械手。这种物料篮搬移方式工艺灵活，物料篮在各清洗槽中的清洗时间可以分别设定，但其制造精度要求较高，控制系统复杂；尤其是机械手臂大都为悬臂结构，承载能力弱，实际上限制了每只物料篮的承载量，加之机械手臂动作路径迂回曲折，总体输送过程耗时长，每一次物料篮的输送过程需要完成物料篮抓取、提升、水平移送、下降、放篮数个动作，对生产节拍的提高不利，使用成本高，运行效率较低。另一种物料篮输送机构是对清洗机内各槽中的物料篮同时被抓取，同时提升后将所有的物料篮及其抓取机构整体移动一个工位，然后同时下降并放下物料篮，抓取机构向上复位并向后回移一个工位准备下一次的物料篮输送。这一结构形式所有的物料篮的输送传动装置都位于清洗槽的上方，仍存在重心较高、结构不稳定、承载能力弱的缺点，在该结构中所有物料的重量与输送装置的重量需要一个坚固的支架来支承；且位于各清洗槽上方的输送传动装置由于负荷大，必须采用钢结构。并且该结构形式同样存在每一次物料篮的输送过程需要完成物料篮抓取、提升、水平移送、下降、放篮数个动作，生产节拍中的有效清洗时间所占的比例不高，工作效率不高的问题。同时在运动过程中不可避免地会产生运动磨擦副造成的细微的颗粒与润滑剂造成的挥发性物质，正好会下落至其下方的清洗槽中，很难采取保护性的措施进行防护，从而对需要清洗的物料造成新的污染，这在本行业中是绝对不允许的。

因此在现有的结构中，清洗机的输送机构总是从物料篮的上方实现对物料篮的钩吊抓取、提升和移动等一系列动作，输送转移重心高，承载能力不足，制约着清洗机清洗量的增加；更由于这种上方抓取形式，输送路径长，输送机构不可避免地存在空回行程和空回时间，占用了较多的有效输送和实际清洗时间，严重限制了清洗机工作效率的提高，业界一直在寻求一种清洗量大、运行效率高的硅料、硅片清洗设备。  

发明内容

针对现有技术所存在的上述不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有托升推移结构的清洗机，它不仅结构稳定，承载能力强，而且输送路径合理、有效清洗时间长、工作效率高。

为了解决上述技术问题，本发明的一种具有托升推移机构的清洁机，包括机架，以及安装于机架上的若干清洗槽，在每一所述的清洗槽中均设置有一用于托持物料篮的升降托架；各升降托架至少有一侧边通过托架连杆与升降横梁相连接，安装于机架上的升降驱动机构可通过升降横梁驱动所述升降托架沿竖直方向往复升降；在所述清洗槽的上方还设有用于水平推动物料篮移动的物料篮水平推杆，该物料篮水平推杆由水平驱动机构驱动；在相邻的清洗槽之间固定设置有固定托架，该固定托架的上支承面与升至高位的升降托架的托承面处于同一支承平面内，该支承平面高于清洗槽的槽口。