[发明专利]陀螺仪传感器和电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及陀螺仪传感器和使用该陀螺仪传感器的电子设备。

背景技术

近年来，在汽车导航系统和摄像机的抖动校正等的姿势控制中，大量使用检测角速度的陀螺仪传感器。在这种陀螺仪传感器中，存在如下的传感器：在各轴具有能够检测绕着相互垂直的X轴、Y轴、Z轴的角速度的检测元件。

专利文献1所公开的陀螺仪传感器是检测相对于相互垂直的第1～第3检测轴的角速度的多轴角速度传感器，具有检测相对于第1检测轴的角速度的第1振动型角速度传感器元件、检测相对于第2检测轴的角速度的第2振动型角速度传感器元件、检测相对于第3检测轴的角速度的第3振动型角速度传感器元件、控制第1～第3振动型角速度传感器元件的IC以及收纳第1～第3振动型角速度传感器元件和IC的封装。在该陀螺仪传感器中，第1振动型角速度传感器元件的振动平面与第1检测轴平行，第2振动型角速度传感器元件的振动平面与第2检测轴平行，第3振动型角速度传感器元件的振动平面与第3检测轴垂直，实现薄型化。

专利文献1：日本特开2010-266321号公报

但是，现有的陀螺仪传感器检测绕3个轴的角速度，所以，当在芯片内排列各轴时，存在如下问题：安装面积增大，无法实现伴随器件整体小型化的要求的传感器元件的进一步小型化。

并且，振动按照每个轴的角速度传感器而独立，所以，必须按照每个角速度传感器设置驱动电路，单独需要集成电路（IC），安装面积增大，难以使传感器小型化。并且，按照多个角速度传感器存在振动模式，所以，存在相互干涉的问题。

发明内容

为了解决上述现有技术的问题点，本发明的目的在于，提供实现了小型化的陀螺仪传感器。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可以作为以下应用例来实现。

[应用例1]一种陀螺仪传感器，其特征在于，该陀螺仪传感器具有：第1质量部，其具有第1检测部；第2质量部，其具有第2检测部；第1驱动部，其使所述第1质量部在第1轴的方向上振动；以及力转换部，其由锚部固定，所述第1质量部和所述第2质量部由所述力转换部连接，所述力转换部以所述锚部为轴进行移位，使所述第2质量部在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动。

根据上述结构，能够通过力转换部进行位移，使得第1轴的方向的驱动在第2轴的方向上振动。由此，能够使多个质量部的驱动部共同化，所以，能够实现传感器整体的小型化。

[应用例2]根据应用例1所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述力转换部包含：旋转体；锚梁，其连接所述锚部和所述旋转体；第1连接梁，其连接所述旋转体和所述第1质量部；以及第2连接梁，其连接所述旋转体和所述第2质量部，所述旋转体的刚性比所述锚梁的刚性大。

根据上述结构，通过力转换部的旋转运动，能够容易地将驱动部的第1轴的方向的振动转换为第2轴的方向的振动。

[应用例3]根据应用例2所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述锚梁包含：第1锚梁，其从所述锚部起在所述第1轴的方向上延伸；以及第2锚梁，其从所述锚部起在所述第2轴的方向上延伸，所述旋转体是连接所述第1锚梁的端部和所述第2锚梁的端部的梁。

根据上述结构，使用多个梁构成力转换部，通过力转换部的旋转运动，能够容易地将驱动部的第1轴的方向的振动转换为第2轴的方向的振动。

[应用例4]根据应用例3所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述旋转体被设置成圆弧状。

根据上述结构，通过将力转换部的旋转体设置成圆弧状，能够使力转换部顺畅地进行旋转运动。

[应用例5]根据应用例2所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述旋转体具有空洞部，所述锚部被配置在所述空洞部的内部。

根据上述结构，通过力转换部的旋转运动，能够容易地将驱动部的第1轴的方向的振动转换为第2轴的方向的振动。

[应用例6]根据应用例2所述的陀螺仪传感器，其特征在于，隔着所述旋转体设置有一组所述锚部。

根据上述结构，通过力转换部的旋转运动，能够容易地将驱动部的第1轴的方向的振动转换为第2轴的方向的振动。

[应用例7]根据应用例5或6所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述旋转体为矩形状。

根据上述结构，通过使旋转体为矩形状，能够增大以锚部为轴的旋转移位，能够改善振动效率。