[发明专利]一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法有效

专利信息
申请号: 201210152496.5 申请日: 2012-05-16
公开(公告)号: CN102664130A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 陈军;林琳;刘更新;许宁生;邓少芝 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;H01J9/24;H01J9/38;H01J29/02
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 华辉
地址: 510275 *** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 过程 实现 cuo 纳米 生长 发射 显示器 方法
【权利要求书】:

1.一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征在于包括以下顺序的步骤:

a)首先在阴极基板上制备导电层和铜膜;

b)将阴极基板及带荧光粉层的阳极基板对准并固定;

c)在阴极和阳极基板之间的缝隙涂覆低熔点玻璃粉;

d)安装排气管;

e)通过排气管,向器件内部通入氧气、空气或含有氧气的混合气体;

f)按照一定的升温速率,将整个器件加热至400~450℃,并保温1~5小时,最后降温。

2.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:阴极基板为二极结构或带栅极的结构。

3.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:阴极基板导电层和铜膜的镀膜方法为电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射。

4.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述的铜膜厚度为500nm~2μm。

5.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述导电层的材料是Cr、Al、Ti、ITO中的一种或几种的组合,厚度为200nm~600nm。

6.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述排气管安装于阴极基板或阳极基板上。

7.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:升温速度是每分钟1度~15度。

8.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:通入气体的流量范围是100sccm~5slm。

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