[发明专利]一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法有效
申请号: | 201210152496.5 | 申请日: | 2012-05-16 |
公开(公告)号: | CN102664130A | 公开(公告)日: | 2012-09-12 |
发明(设计)人: | 陈军;林琳;刘更新;许宁生;邓少芝 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01J9/24;H01J9/38;H01J29/02 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 华辉 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 过程 实现 cuo 纳米 生长 发射 显示器 方法 | ||
1.一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征在于包括以下顺序的步骤:
a)首先在阴极基板上制备导电层和铜膜;
b)将阴极基板及带荧光粉层的阳极基板对准并固定;
c)在阴极和阳极基板之间的缝隙涂覆低熔点玻璃粉;
d)安装排气管;
e)通过排气管,向器件内部通入氧气、空气或含有氧气的混合气体;
f)按照一定的升温速率,将整个器件加热至400~450℃,并保温1~5小时,最后降温。
2.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:阴极基板为二极结构或带栅极的结构。
3.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:阴极基板导电层和铜膜的镀膜方法为电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射。
4.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述的铜膜厚度为500nm~2μm。
5.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述导电层的材料是Cr、Al、Ti、ITO中的一种或几种的组合,厚度为200nm~600nm。
6.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:所述排气管安装于阴极基板或阳极基板上。
7.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:升温速度是每分钟1度~15度。
8.根据权利要求1所述的一种在封装过程实现CuO纳米线生长的场发射显示器封装方法,其特征是:通入气体的流量范围是100sccm~5slm。
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