[发明专利]一种气氛环境下材料光电流谱高通量测试装置

权利要求书

1.一种气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，该装置包括光源组件，环境控制组件，测试腔，信号采集模块和控制单元；

光源组件用于原来测试腔提供200～1100nm连续变化波长的单色光；

测试腔用于提供放置样本的空间，以及用于温度、湿度、光强以及波长的检测；

测试腔位于环境控制组件所提供的环境气氛中，环境气氛包括真空、氮气气氛、氧气气氛、干燥空气、可控湿度气氛、挥发性气氛；

信号采集模块用于多通道采集测试腔中所测试试样的信号，并对采集的信号进行预处理，并将所测试的模拟信号转换为数字信号传递给控制单元；

控制单元根据测量的需要发送控制命令至光源组件，光源组件接受信号后控制其光源按照命令的要求变化；控制单元根据测量的需要发送控制命令至环境控制组件，环境控制组件接受信号后控制测试腔中环境的变化；同时控制单元接收信号采集模块提供的数字信号，并进行显示。

2.根据权利要求1所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，所述可控湿度气氛中湿度气氛的相对湿度可控范围为10%～100%RH。

3.根据权利要求1所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，所述挥发性气氛的浓度可控，其范围为10ppm～3000ppm。

4.根据权利要求1所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，单色光波长步进最小值在0.5～2nm之间，单色光峰形半高宽小于5nm；单色光步进速度在0.1s/nm～10s/nm之间。

5.根据权利要求1所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，待测试材料的印刷面积在0.5mm×0.5mm～5mm×5mm范围内，材料基板中排布的样本数量在8～64个之间。

6.根据权利要求1至5任一所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，所述光源组件由氙灯和双光栅单色仪连接构成，双光栅单色仪通过光纤与所测试腔连接。

7.根据权利要求1至5任一所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，所述环境控制组件包括干燥空气发生器、至少一个测试气氛气瓶、湿度发生装置和至少三个质量流量控制器；干燥空气发生器通过第一质量流量控制器与测试腔连通；干燥空气发生器还依次通过第二质量流量控制器，以及湿度发生装置与测试腔连通；各测试气氛气瓶均通过第三质量流量控制器与测试腔连通。

8.根据权利要求1至5任一所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，测试腔与光源组件相接的光纤的接入端连接在XY两轴控制工作台，以保证所有样本都能单独被光纤中发射的单色光照射。

9.根据权利要求1至5任一所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，所述测试腔设置在真空系统中。

10.根据权利要求1至5任一所述的气氛环境下材料光电流谱测试装置，其特征在于，测试腔与环境控制组件连通的气路的进、出口均设置网状栅格，以保证所有样本气流一致。