[发明专利]压电圆盘微机械陀螺

权利要求书

1.一种压电圆盘微机械陀螺，其特征在于包括：

一个具有支撑柱的圆盘谐振子；

三个与圆盘端面方向平行的驱动电极；

三个与圆盘端面方向平行的检测电极；

三个与圆盘端面平行的监测电极；以及

三个与圆盘端面平行的平衡电极；

所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。

2.根据权利要求1所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述圆盘谐振子材料为PZT，使用压电效应进行驱动和检测，谐振子下表面通过一圆柱形支撑柱与PZT基底联接。

3.根据权利要求1所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极，其中每个电极为张角25°的圆环形。

4.根据权利要求1-3任一项所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述三个驱动电极材料为金属，均分端面圆环分布，用于激励圆盘振子产生驱动模态振型。

5.根据权利要求1-3任一项所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述三个检测电极材料为金属，均分圆盘振子端面，用于检测垂直于基底平面方向即z轴方向的角速度引起的圆盘谐振子上电压。

6.根据权利要求1-3任一项所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述三个监测电极材料为金属，均分圆盘振子端面，用于监控圆盘谐振子工作在驱动模态。

7.根据权利要求1-3任一项所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述三个平衡电极材料为金属，均分圆盘振子端面，用于恢复圆盘谐振子的驱动模态振型，使得陀螺仪工作在力平衡模式。

8.根据权利要求1-3任一项所述的压电圆盘微机械陀螺，其特征是所述圆盘谐振子上的三个驱动电极被施加交流电压时，由逆压电效应产生圆盘谐振子在驱动模态振动；当存在输入角速度时，圆盘谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极处压电正效应产生的敏感信号。