[发明专利]用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备有效
| 申请号: | 201210149468.8 | 申请日: | 2012-03-30 |
| 公开(公告)号: | CN102768935A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
| 发明(设计)人: | M·戴尔曼;M·格丁 | 申请(专利权)人: | 克洛纳测量技术有限公司 |
| 主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 臧永杰;李家麟 |
| 地址: | 德国杜*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 同步 离子 屏蔽 质量 分离器 驱动 设备 | ||
1.用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备,具有参考振荡器(1)、直接数字合成器(2)、低通滤波器(3)和比较器(4),其中同步离子屏蔽质量分离器具有梳形分离电极(6),参考振荡器(1)给直接数字合成器(2)提供参考频率,由直接数字合成器(2)产生的输出信号由低通滤波器(3)滤波,并且低通滤波器(3)的输出信号由比较器(4)处理,其特征在于,
由可编程元件(11)把比较器(4)的输出信号转换为与梳形分离电极(6)的齿(7)的数目相应的数目的输出信号。
2.根据权利要求1所述的驱动设备,其特征在于,可编程元件(11)是可编程逻辑元件,特别是形式为现场可编程门阵列(FPGA)或者形式为复杂可编程逻辑器件(CPLD)的可编程逻辑元件,或者可编程元件(11)是微控制器,特别是形式为数字信号处理器(DSP)的微控制器。
3.用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其中同步离子屏蔽质量分离器具有梳形分离电极(6),其特征在于,
根据权利要求1或2之一所述的驱动设备的输出信号被用于驱动梳形分离电极(6)的齿(7)。
4.根据权利要求3所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,驱动设备的输出信号具有信号序列,其中信号序列交替地由n个零和m个一组成,其中可编程元件(11)的所有k个时钟使信号序列继续迁移j步,其中n、m、k和j是大于零的自然数并且其中n大于或者等于商(j mod(n+m))/k。
5.根据权利要求4所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目n等于2,数目m等于2,数目k等于1和数目j等于2。
6.根据权利要求4所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目n等于2,数目m等于2,数目k等于1和数目j等于1。
7.根据权利要求4所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目n等于1,数目m等于1,数目k等于1和数目j等于1。
8.根据权利要求4所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目m大于数目n。
9.根据权利要求8所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目n等于3和数目m等于5。
10.根据权利要求3所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,驱动设备的输出信号具有信号序列,其中信号序列由后面跟随一的e个零组成,其中可编程元件(11)的所有g个时钟使信号序列继续迁移h步,其中e、g和h是大于零的自然数并且其中e大于或者等于商h/g。
11.根据权利要求10所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,数目e等于1,数目g等于1和数目h等于1。
12.根据权利要求4到9之一所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,信号序列通过移位寄存器实现。
13.根据权利要求4到11之一所述的用于驱动同步离子屏蔽质量分离器的方法,其特征在于,在元件(11)的每一个时钟,从存储器(14)中读出信号序列,在所述每一个时钟设置输出信号的变化。
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