[发明专利]吸附状态检查装置、表面安装机和元件试验装置

权利要求书

1.一种吸附状态检查装置，其特征在于包括：

漫射部件，设置于设有多个用于吸附元件的吸嘴的吸嘴组的内侧，使入射的光一边漫射一边透过；

摄像部，设置于所述吸嘴组的侧旁且从所述漫射部件向第一方向离开的位置，通过以所述漫射部件为背景拍摄吸附于构成所述吸嘴组的多个吸嘴中的、相对于所述漫射部件位于所述第一方向的一个吸嘴的元件，获得所述元件的像；

照明部，隔着假想铅垂面，设置在与所述摄像部相反的区域，对所述吸嘴组照射光，其中，所述假想铅垂面在从所述摄像部向与所述第一方向相反的第二方向延伸的假想线、和所述漫射部件交叉的位置上，通过与所述该假想线正交的假想水平线；以及

检查部，基于由所述摄像部拍摄的所述元件的像，检查所述一个吸嘴对所述元件的吸附状态。

2.根据权利要求1所述的吸附状态检查装置，其特征在于：

所述吸嘴组包括在以旋转轴线为中心呈同心圆状设置的状态下绕所述旋转轴线旋转自如的所述多个吸嘴，

所述吸附状态检查装置用于检查由所述多个吸嘴分别吸附的元件的吸附状态，

所述漫射部件设置于由所述多个吸嘴围成的空间内。

3.根据权利要求2所述的吸附状态检查装置，其特征在于：

从所述摄像部侧观察时的所述漫射部件的宽度比从所述摄像部侧观察时的吸附于所述一个吸嘴的元件的宽度宽。

4.根据权利要求3所述的吸附状态检查装置，其特征在于：

从所述摄像部侧观察时的所述漫射部件的下方端部从所述吸嘴前端的高度位置向下方延伸指定距离而设置。

5.根据权利要求3所述的吸附状态检查装置，其特征在于：

所述吸嘴组包括设置在沿所述第二方向延伸的假想线上且隔着所述漫射部件位于所述一个吸嘴的相反侧的另一个吸嘴，

从所述摄像部侧观察时的所述漫射部件遮掩所述另一个吸嘴和吸附于该吸嘴的元件。

6.根据权利要求1所述的吸附状态检查装置，其特征在于：

所述吸嘴组包括以所述照明部侧和所述摄像部侧的两列排列的所述多个吸嘴，

所述吸附状态检查装置用于检查由所述多个吸嘴所吸附的元件的吸附状态，

所述漫射部件设置于所述照明部侧的吸嘴列与所述摄像部侧的吸嘴列之间。

7.一种表面安装机，其特征在于包括：

元件供应部，供应元件；

头部单元，具有多个用于吸附从所述元件供应部供应的元件并且将元件安装到基板上的吸嘴；

移动机构，使所述头部单元在所述元件供应部与基板之间移动；以及

权利要求1至6中任一项所述的吸附状态检查装置，其中，

所述头部单元利用所述吸嘴从所述元件供应部吸附元件并将其搬出，并且由所述吸附状态检查装置检查吸附于所述吸嘴的元件的吸附状态后，将该元件安装到基板上。

8.一种元件试验装置，其特征在于包括：

元件供应部，供应元件；

元件试验部，对从所述元件供应部供应的元件进行试验；

头部单元，具有多个用于吸附从所述元件供应部供应的元件的吸嘴；

移动机构，使所述头部单元在所述元件供应部与所述元件试验部之间移动；以及

权利要求1至6中任一项所述的吸附状态检查装置，其中，

所述头部单元利用所述吸嘴从所述元件供应部吸附元件并将其搬出，并且由所述吸附状态检查装置检查吸附于所述吸嘴的元件的吸附状态后，将该元件移载到所述元件试验部。