[发明专利]低温泵及其制造方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，包含用于提供第1冷却温度的第1冷却台及用于提供低于该第1冷却温度且在非冷凝性气体的吸附中使用的第2冷却温度的第2冷却台；

放射护罩，包含形成接收气体的开口的护罩前端，该放射护罩热连接于第1冷却台并包围第2冷却台；及

低温板组件，热连接于第2冷却台，在其外缘与放射护罩之间形成朝向所述开口的开放空间，能够从护罩前端观察至少一部分，

低温板组件包含朝向所述开口的顶板及中间板，所述中间板包含朝向所述开口的板前表面且相对顶板配设在与所述开口相反的一侧，在与中间板的板前表面对置的邻接的低温板的外周部和与该外周部对置的所述板前表面的部分在所述开放空间内向放射护罩平行延伸，该板前表面被区分为用于非冷凝性气体的吸附区域和用于冷凝性气体的冷凝区域。

2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述邻接的低温板为所述顶板，所述中间板的外周部延伸至比顶板的外周部更靠近放射护罩的位置。

3.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述顶板及所述中间板分别包含多个薄板，所述多个薄板分别包含朝向所述开口的前表面及朝向与该开口相反的一侧的背面且相互平行排列，中间板的薄板大于顶板的薄板。

4.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述低温板组件还包含相对所述中间板配设在与所述开口相反的一侧的下侧板，该下侧板的外周部与中间板平行且延伸至比中间板的外周部更靠近放射护罩的位置。

5.如权利要求4所述的低温泵，其特征在于，

所述下侧板包含多个薄板，所述多个薄板分别包含朝向所述开口的前表面及朝向与该开口相反的一侧的背面且相互平行排列，该薄板大于中间板的薄板。

6.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

在所述中间板的板前表面的所述部分和所述邻接的低温板的外周部之间形成有连续于所述开放空间的开放部分，该开放部分的深度大于该邻接的低温板和该板前表面之间的间隔。

7.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述板前表面的外周部被区分为用于非冷凝性气体的吸附区域和用于冷凝性气体的冷凝区域。

8.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

还具备热连接于所述放射护罩且配设在所述开口的百叶窗，该百叶窗具有顶板和中间板之间的尺寸，在该百叶窗的外周部与所述放射护罩之间形成有开放区域。

9.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵具有至少30%的氢捕捉概率，

所述中间板包含用于将可吸附氢的吸附剂支承在表面上的低温板基材，该低温泵通过从该低温板基材的总表面积的至多30%脱落吸附剂，与通过吸附剂覆盖该低温板基材的整个面时相比，提高了低温泵的氢排气速度和吸附剂面积之比即氢排气效率。

10.一种低温泵，其具备放射护罩及低温板组件，且具有至少30%的氢捕捉概率，所述低温板组件包含在该放射护罩内从近前向里面排列的多个低温板且在该多个低温板的外周部与所述放射护罩之间形成朝向放射护罩开口的开放空间，其特征在于，

所述多个低温板分别包含用于将可吸附氢的吸附剂支承于表面的低温板基材，该低温泵通过从该低温板基材的总表面积的至多30%脱落吸附剂，与通过吸附剂覆盖该低温板基材的整个面时相比，提高了低温泵的氢排气速度和吸附剂面积之比即氢排气效率。

11.如权利要求10所述的低温泵，其特征在于，

所述氢排气效率为5×10^-2L/s·mm²以上。

12.如权利要求10所述的低温泵，其特征在于，

所述低温板基材的总表面积的至少10%为吸附剂脱落区域。

13.如权利要求10所述的低温泵，其特征在于，

所述吸附剂的至少90%向所述放射护罩或所述开口露出。

14.一种用于制造低温泵的方法，其特征在于，该方法包含：

求出在从低温吸着板的表面的一部分脱落吸附剂的条件下改变板结构参数时提供最大氢排气速度的板结构参数值的步骤；及

根据该板结构参数值确定低温吸着板排列的结构的步骤。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，

所述板结构参数包含低温吸着板的尺寸。