[发明专利]一种制备硒化锌光电薄膜的方法

权利要求书

1.一种制备硒化锌光电薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：

a.玻璃基片或硅基片的清洗；

b.将2.0～7.0份ZnCl₂、1.0～2.0份SeO₂放入30～120份的溶剂中，使溶液中的物质均匀混合；

c.制作外部均匀涂布步骤b所述溶液的基片，并烘干，得到前驱体薄膜样品；

d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至160～220℃之间，保温时间10～60h小时，然后冷却到室温取出；

e.将步骤d所得产物，进行自然干燥，得到硒化锌光电薄膜。

2.如权利要求1所述的一种制备硒化锌光电薄膜的方法，其特征在于，步骤a所述清洗，是将大小为2mm×2mm玻璃基片或硅基片，放入体积比三氯甲烷∶乙醇＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再将基片放入丙酮∶蒸馏水＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再在蒸馏水中将基片用超声波振荡；将上述得到的基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用。

3.如权利要求1所述的一种制备硒化锌光电薄膜的方法，其特征在于，步骤b所述溶剂为去离子水、乙醇、乙二醇、盐酸中的至少一种。

4.如权利要求1所述的一种制备硒化锌光电薄膜的方法，其特征在于，步骤c所述均匀涂布的基片，是通过匀胶机旋涂，匀胶机以200～3500转/分旋转，然后对基片进行烘干后，再次如此重复2～15次，得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。

5.如权利要求1所述的一种制备硒化锌光电薄膜的方法，其特征在于，步骤d所述密闭容器内放入30.0～45.0份水合联氨。