[发明专利]一种用激光制作波导的方法

权利要求书

1.一种用激光制作波导的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)将激光器发出的激光进行扩束；

2)扩束后的激光再经过1/2λ波片；

3)步骤2)出射的激光聚焦后形成刻写激光；

4)将刻写激光作用于光学样品进行痕迹扫描，形成波导。

2.根据权利要求1所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述步骤4)的具体步骤是：

4.1)将光学样品置于三维控制平台上；

4.2)移动三维控制平台使三维控制平台上的光学样品与刻写激光呈相互垂直；

4.3)横向移动三维控制平台，使刻写激光在光学样品上扫描出第一波导；

4.4)重复步骤4.3)，扫描出第二波导。

3.根据权利要求2所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述步骤1)中激光器发出的激光经准直系统扩束。

4.根据权利要求3所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述步骤3)中出射的激光是经显微物镜聚焦后形成刻写激光。

5.根据权利要求4所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述第一波导和第二波导的长度是5mm，间距是10μm-1000μm。

6.根据权利要求5所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述第一波导和第二波导的截面面积是10μm×10μm。

7.根据权利要求6所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述第一波导和第二波导是直线形或曲线形。

8.根据权利要求7所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述激光器是脉冲宽度小于100皮秒的超快激光器。

9.根据权利要求8所述的用激光制作波导的方法，其特征在于：所述光学样品是掺钛蓝宝石晶体、YAG晶体、LiNO₃、石英玻璃、K9玻璃或ZF57。