[发明专利]真空阀用波纹管

权利要求书

1.一种真空阀用波纹管，该真空阀用波纹管为了划分主流路和驱动部而以围绕杆的周围的方式配设于真空阀中，该真空阀具备：所述主流路，盘形的阀构件通过抵接或离开阀座而开闭该主流路；所述驱动部，其借助所述杆驱动所述阀构件，该真空阀用波纹管的特征在于，

在金属筒的周壁上沿该金属筒的轴线方向交替地连续形成向该金属筒的内侧鼓出的环状的谷部和向该金属筒的外侧鼓出的环状的峰部，从而构成所述波纹管，在来自所述杆的外力未作用于该波纹管的状态下，在将所述谷部的截面的曲率半径设为谷R，将所述峰部的截面的曲率半径设为峰R时，作为该谷R与峰R的比的谷R/峰R处于1.15～1.70的范围内。

2.根据权利要求1所述的真空阀用波纹管，其特征在于，

作为所述谷R与峰R的比的谷R/峰R处于1.20～1.55的范围内。

3.根据权利要求1所述的真空阀用波纹管，其特征在于，

所述阀构件位于与阀座抵接了的位置时的所述波纹管的轴线方向长度是该波纹管的自由长度，在所述阀构件位于全开位置时，所述波纹管自该波纹管的自由长度以总位移量被压缩。

4.根据权利要求1所述的真空阀用波纹管，其特征在于，

在所述阀构件位于与阀座抵接了的位置时，所述波纹管处于自该波纹管的自由长度伸长直到所述阀构件与阀座抵接的位置的状态，在所述阀构件位于全开位置时，所述波纹管自该波纹管的自由长度以总位移量被压缩。

5.根据权利要求4所述的真空阀用波纹管，其特征在于，

使在所述阀构件位于与阀座抵接了的位置时所述波纹管伸长的长度，与在所述阀构件位于全开位置时该波纹管被压缩的长度相等或在该被压缩的长度以下。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的真空阀用波纹管，其特征在于，

构成所述波纹管的金属筒是通过对不锈钢制的金属薄板进行深拉深加工而形成的。