[发明专利]碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法

权利要求书

1.一种碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法，其特征在于包括以下步骤：

1)在100级洁净室中，对外延薄膜表面用薄胶进行光刻胶匀胶保护并进行切割，将外延薄膜样品表面四周残液切除；

2)选取一块洁净的玻璃圆盘放置在可调温电炉上，温度调至80摄氏度。待玻璃盘升温后在其正中央区域涂上一块5厘米乘以5厘米的蜡，随后将外延薄膜样品有残液的面向上，水平放置于玻璃圆盘上蜡已融化的区域中，贴片完成后取下玻璃盘放置在易导热散热处，待蜡完全凝结后用刀片沿着外延薄膜边缘小心得将四周的蜡刮去；

3)先用三氯乙烯冲洗玻璃盘表面，以去除残留蜡、油及粘污，再用大量酒精冲洗玻璃盘表面，随后将清洗好的玻璃盘贴片面朝上浸泡于新配王水中腐蚀1分钟到10分钟后，用大量去离子水冲洗30秒后擦干；

4)用抛光机对外延薄膜样品有残液的背面依次进行15-20分钟的机械粗抛和10分钟的化学、机械精抛光，彻底去除外延薄膜样品背面的残液；

5)将残液已处理完毕的外延薄膜样品连同玻璃盘放置与可调温电炉上，温度调至80摄氏度，待蜡融化后将外延薄膜取下；

6)对外延薄膜样品表面进行去蜡和去光刻胶清洗；

7)在100级洁净室中，对外延薄膜样品表面用薄胶进行光刻胶匀胶保护。