[发明专利]带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法

权利要求书

1.一种带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置，其特征在带内胆的多晶硅还原炉下面连接有底盘排气总管（19），底盘排气总管（19）连接冷凝器（26），冷凝器连接储罐（27），储罐（27）上设置有储罐排气管（28）；储罐（27）经过泵（29）连接至尾气回收液进口管线（24）；在尾气回收液进口管线（24）上设置有文丘里引射装置（30）和三氯氢硅液体引射管线（31）。

2.权利要求1的带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却方法，其特征是：多晶硅还原炉内胆（2）内部产生的尾气经过地盘排气管（6）排出，内胆（2）与钟罩（1）之间产生的尾气经过内胆与钟罩之间的排气管（25）排出，两股尾气汇合后进入底盘排气总管（19）排出还原炉后，经过冷凝器（26）冷凝后进入储罐（27），未冷凝的气体从储罐排气管线（28）排出进入后续处理工段，经冷凝降温后的液体作为还原炉内胆的冷却液经过泵（29）打入还原炉冷却液进口管线（24）；同时在尾气回收液进入还原炉前安装文丘里引射装置（30），将炉内的部分三氯氢硅液体经三氯氢硅液体引射管线（31）引射至尾气回收液进口管线（24），二者混合后进入还原炉内胆（2）与钟罩（1）之间的空间，对内胆（2）进行冷却，冷却液在高温环境下变成气体，经过内胆与钟罩之间的出气管（25）进入（19），内胆内部高温高压环境下发生化学反应生成多晶硅，同时尾气经过底盘出气管（6）也进入底盘排气总管（19），整个过程炉内尾气进行循环流动。