[发明专利]测量热扩散系数的装置以及测量热扩散系数的方法

权利要求书

1.一种测量热扩散系数的装置，其特征在于：所述的测量热扩散系数的装置包括：

一拉曼光谱仪，用以测量一待测薄膜的不同位置的拉曼散射强度；

一加热设备，用以提供该待测薄膜可控制的一热驱动波；以及

一信号分析单元，用以分析来自该拉曼光谱仪的这些拉曼散射强度以及该热驱动波，而得到该待测薄膜的热扩散系数。

2.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于该待测薄膜的热扩散系数是经由这些拉曼散射强度以及该热驱动波的相位差变化而得到。

3.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于该加热设备为一可控制加热频率及功率的加热单元。

4.如权利要求3所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于该可控制加热频率及功率的加热单元包括激光加热单元、电阻式加热单元或机械波式加热单元。

5.如权利要求4所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于该激光加热单元中所使用的激光的范围为可见光、近红外光或近紫外光的范围。

6.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于还包括一检测单元，用以检测出由该加热设备提供的该热驱动波，并且将所检测的该热驱动波的信号传送至该信号分析单元。

7.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于该待测薄膜为单层膜或多层膜。

8.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于当该待测薄膜为单层膜时，该拉曼光谱仪所测量的是该单层膜的表层的拉曼信号。

9.如权利要求1所述的测量热扩散系数的装置，其特征在于当该待测薄膜为多层膜时，该拉曼光谱仪所测量的是该多层膜的表层以下的膜的拉曼信号。

10.一种测量热扩散系数的方法，其特征在于所述方法包括：

利用热源提供一待测薄膜可控制的一热驱动波；

检测在该待测薄膜的多个位置的一拉曼波峰随时间变化的多个强度变化波；

比较该热驱动波以及在这些位置的这些强度变化波而得到多个相位差；以及

通过这些相位差计算得到该待测薄膜的热扩散系数。

11.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于在检测这些强度变化波的步骤之前，还包括：

测量该待测薄膜的一拉曼光谱；以及

根据该拉曼光谱选择一波峰作为该拉曼波峰。

12.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于该待测薄膜为单层膜或多层膜。

13.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于当该待测薄膜为单层膜时，检测这些强度变化波的步骤包括对该单层膜的表层进行检测。

14.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于当该待测薄膜为多层膜时，检测这些强度变化波的步骤包括对该多层膜的表层以下的膜进行检测。

15.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于当该待测薄膜为单层膜时，在检测这些强度变化波的步骤之前，还包括：

测量该单层膜的表层的一拉曼光谱；以及

根据该拉曼光谱选择一波峰作为该拉曼波峰。

16.如权利要求10所述的测量热扩散系数的方法，其特征在于当该待测薄膜为多层膜时，在检测这些强度变化波的步骤之前，还包括：

测量该多层膜的表层以下的膜的一拉曼光谱；以及

根据该拉曼光谱选择一波峰作为该拉曼波峰。