[发明专利]一种退火系统

权利要求书

1.一种退火系统，包括混合气体源与退火炉，其特征在于，

所述混合气体源通过第一炉外进气管与所述退火炉的后端相连，所述混合气体源与所述第一炉外进气管之间设置有第一阀门；

其中，所述退火炉包括炉体和炉盖，所述炉体为圆柱体型结构，所述炉盖设置在所述退火炉的前端；所述炉盖为非密封门；所述混合气体源用于向所述退火系统提供氮气与氢气的混合气体，以避免由于退火系统发生故障导致退火炉中氢气含量过高而造成的危险，其中，所述混合气体中氮气与氢气的比例在90％∶10％～95％∶5％之间。

2.根据权利要求1所述的退火系统，其特征在于，所述系统还包括氮气气体源，所述氮气气体源通过第二炉外进气管与所述退火炉的后端相连；所述氮气气体源与所述第二炉外进气管之间设置有第二阀门；其中，所述氮气气体源用于向所述退火系统提供氮气。

3.根据权利要求1或2所述的退火系统，其特征在于，所述第一阀门与所述第一炉外进气管之间设置有第一流量计。

4.根据权利要求1或2所述的退火系统，其特征在于，所述混合气体源与所述第一阀门之间设置有第一过滤器。

5.根据权利要求2所述的退火系统，其特征在于，所述第二阀门与所述第二炉外进气管之间设置有第二流量计。

6.根据权利要求2所述的退火系统，其特征在于，所述氮气气体源与所述第二阀门之间设置有第二过滤器。

7.根据权利要求1或2所述的退火系统，其特征在于，所述第一阀门为气动阀、电动阀或者电磁阀。

8.根据权利要求2所述的退火系统，其特征在于，所述第二阀门为气动阀、电动阀或者电磁阀。

9.根据权利要求1或2所述的退火系统，其特征在于，所述混合气体中氮气与氢气的比例为95％∶5％。