[发明专利]一种碱制绒工艺无效
| 申请号： | 201210140697.3 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102703903A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张映斌;叶权华 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碱制绒 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种碱制绒工艺，其特征是：包括如下步骤:
（1）将硅片置入碱性溶液中刻蚀，然后用去离子水冲洗，使硅片表面形成金字塔绒面结构；
（2）将上步所得硅片置入温度为5-25℃的HF、HNO3和CH3COOH混合溶液中进行刻蚀1-600s；
（3）将上步所得硅片用HF或HCl溶液将表面颗粒和金属离子清洗干净，再用去离子水冲洗后烘干。
2.根据权利要求1所述的一种碱制绒工艺，其特征是：所述步骤（1）中的碱性溶液为NaOH、KOH或TMAH和IPA的混合溶液，其中：NaOH、KOH或TMAH的质量分数为:0.5-3wt%,IPA的质量分数为:0.5-10wt%。
3.根据权利要求1所述的一种碱制绒工艺，其特征是：所述步骤（1）中碱性溶液的温度为70-100℃，刻蚀时间为15-30min。
4.根据权利要求1所述的一种碱制绒工艺，其特征是：所述步骤（2）中HF、HNO3和CH3COOH混合溶液中的HF溶液质量分数为0.5-5wt%,HNO3溶液质量分数为45-70wt%，CH3COOH溶液质量分数为20-50wt%。
5.根据权利要求1所述的一种碱制绒工艺，其特征是：所述步骤（3）中HF或HCl溶液质量分数为5wt%。
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