[发明专利]可主动驱动的悬浮基盘抛光装置无效
| 申请号： | 201210140631.4 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102699809A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 文东辉;潘国庆;马利;冷巧辉 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/27 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主动 驱动 悬浮 抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.可主动驱动的悬浮基盘抛光装置，包括主动驱动研磨传动装置、悬浮基盘、修正环和研磨盘，所述主动驱动研磨传动装置与所述修正环固定连接且带动所述修正环旋转；所述修正环通过固定件固定在所述研磨盘上且能绕固定中心线转动；所述悬浮基盘卡在所述修正环内，其特征在于：所述悬浮基盘沿圆周方向设有多个楔形槽，所述楔形槽中充满抛光液；所述修正环带动所述悬浮基盘回转运动，所述悬浮基盘在回转运动下产生液体动压使工件浮起，所述的工件与抛光液磨料接触。
2.如权利要求1所述的可主动驱动的悬浮基盘抛光装置，其特征在于：所述悬浮基盘的外径与所述修正环的内径相同。
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