[发明专利]自编号声表面波无源无线谐振型传感器

权利要求书

1.一种自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：它采用多个声表面波谐振器并接；其中一个为基准谐振器；其余的声表面波谐振器为敏感谐振器，至少一个敏感谐振器对应于一个待测传感量，它们分别设计为对相应待测传感量具有明显敏感特性的结构；所有谐振器通过匹配网络与传感器小型天线直连。

2.根据权利要求1所述的自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：在规定工作频段内，采用频分方式设置各声表面波谐振器谐振频率容许区间组，各区间不重合；声表面波传感器采用频率区间组合编号，编号总数等于各频率区间数的积。

3.根据权利要求1所述的自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：所述基准谐振器，采用传感量敏感特性较小的设计。

4.根据权利要求1所述的自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：所述基准谐振器，是采用石英基片制作的高Q谐振器。

5.根据权利要求1所述的自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：不同的声表面波谐振器，可以是采用不同压电材料制作的，也可以是在同一压电材料上通过晶向各异排列、叉指换能器结构以及加载介质膜等设计工艺技术制作的。

6.根据权利要求1和2所述的自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：一些编号组合的多个声表面波传感器构成的传感器组，具有防碰撞功能。