[发明专利]硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置

权利要求书

1.一种硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，包括：

一下施力盖板，该下施力盖板为圆片状；

一下承接托，该下承接托为圆片状，其上面均匀分布有多个圆孔，其位于下施力盖板之上；

一上施力托，该上施力托为圆片状，其上面均匀分布有多个圆孔，其位于下承接托之上；

其中在下承接托和上施力托之间通过多个定向圆柱插置连接，在下承接托和上施力托之间还有两个保护陪片，该两个保护陪片上下叠置；

一平凸透镜，其位于上施力托之上；

一上施力盖板，该上施力盖板为圆片状，其位于平凸透镜之上。

2.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中上施力托上的圆孔的数量为3个。

3.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中下施力盖板和上施力盖板的直径为80mm，厚度为20-50mm。

4.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中所述的下施力盖板、下承接托、定向圆柱、上施力托和上施力盖板的材料为不锈钢。

5.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中所述的保护陪片的材料为石英玻璃。

6.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中所述的下承接托和上施力托的直径为80mm，厚度为30-50mm。

7.根据权利要求1所述的硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置，其中所述下施力盖板、下承接托、上施力托、上施力盖板与平凸透镜的直径相同。