[发明专利]一种Y2Si2O7 晶须的制备方法有效

专利信息
申请号: 201210139468.X 申请日: 2012-05-08
公开(公告)号: CN102660766A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 黄剑锋;杨柳青;曹丽云;王雅琴 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C30B7/10 分类号: C30B7/10;C30B29/62;C30B29/34
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 陆万寿
地址: 710021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 sub si 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种形貌可控的Y2Si2O7材料的制备方法,具体涉及一种Y2Si2O7晶须的制备方法。

背景技术

Y2Si2O7又称焦硅酸钇,属于单斜p21/m空间群结构,在空间上形成由[YO6]八面体顶点连接成二维网状结构,网状结构层与层间空隙由分离的[Si2O7]6-双四面体填充[Julien Parmentier,Philippe Bodart R.Phase transformations in Gel-derived and mixed-powder-derived yttrium disilicate,Y2Si2O7 by X-ray diffraction and 29SiMAS NMR[J].Journal of Solid State Chemistry,2000,149:16220.]。

焦硅酸钇(Y2Si2O7)自身具备的结构特点及一系列优异的物理化学性能,使其被广泛应用于电、磁、及光学领域。已有文献[GD Wilk,RM Wallance,JM Anthony.Hafnium and zirconium silicates for advanced gate dielectrics[J].Journal of Applied Physics,2000,87(1):484.]的报道中指出了焦硅酸钇(Y2Si2O7)是一种高介电常数的材料。日本学者N Taghavinia[Nelson Pan IK.Optimization of materials and processes on co-cured composite honey comb panels.International Sanple Technical Conference,1997:97.]等对制备的Eu3+:Y2Si2O7薄膜材料分析表征及性能测试后表明,该材料在紫外激发下具有较好的亮度值及色饱和度。

微电子、半导体领域的发展要求材料在保持高电容的前提下,同时具有很高的介电常数和较低的隧穿电流,这就要求进一步减小晶体管尺寸,传统SiO2材料尺寸减小的同时,材料本身因受到量子尺寸效应而失去介电性。研究表明[M Copel,E Cartier,V Narayanan,et al.Characterization of silicate/Si(001)interfaces[J].Applied Physics Letters,2002,81(22):4227-4229.],焦硅酸钇(Y2Si2O7)材料有望克服以上缺点而取代SiO2成为新型电子、光学和耐高温结构材料,从而使具备优异性能小尺寸焦硅酸钇(Y2Si2O7)材料的制备引起了研究人员的广泛关注。

目前,有关焦硅酸钇(Y2Si2O7)的制备方法主要有如下几种:溶胶-凝胶法、微波水热合成法、声化学合成法、激光脉冲沉积技术、燃烧法等。这些制备方法都具有其独特的优点,但不足之处大多在于制备工艺复杂、反应周期长、反应条件要求较苛刻、需后期晶化处理等,且大多是关于Y2Si2O7粉体制备的报道,未见对Y2Si2O7晶须制备的报道。

发明内容

本发明的目的在于提供一种采用溶剂热法制备出形貌可控、高纯且粒度较为均一的焦硅酸钇(Y2Si2O7)晶须。

为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:

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