[发明专利]单晶生长炉内腔清洁设备

说明书

技术领域

    本发明涉及保洁环境及设施的的机械设备，尤其涉及一种单晶生长炉内腔清洁设备。

背景技术

在使用单晶生长炉的过程中，每一炉多晶硅用完，即一根单晶硅棒完成，都要清洗炉膛及炉体内腔，为下一炉的启动做准备。但目前还没有清洗单晶生长炉的专用设备，普遍都是采用人工清理，工人穿着雨披，拿着拖把，钻进开口朝下的炉膛中，举起拖把擦拭比自己高的炉体内腔壁，由于要仰视作业，难免满脸污垢，手臂僵硬，清洁的效果也不很理想。鉴于此，广集现场工人及客户的建议和要求，设计了一套动作类似于保洁工人操作的类机器人，使其类似于人的手臂拖动鬃刷或保洁棉纱，能上能下，能伸能缩，用力均衡，擦拭均匀，又能象保洁员一样转身，360°的范围旋转作业。在设计过程中，想到了高压水射流的冲击力，就给其加装了一个球形喷头的脑袋，使其中的高压水五面喷射，冲刷着炉体内腔壁，并滋润着舞动的棉纱；受日常使用的雨伞打开的启发，设计了由高压水推动，打开类似于雨伞支撑架的可伸缩的臂杆。

发明内容

本发明的目的是为了降低工人的劳动强度，实现机械化操作，为单晶生长炉的内腔清洁提供一种单晶生长炉内腔清洁设备。

单晶生长炉内腔清洁设备包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件，升降组件装在基础板上，旋转组件装在升降组件的升降支架上，水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。

其中，升降组件包括升降支架、丝杠、带轮、轴承、轴承压盖、导轨座、下行程开关、碰块、线性导轨、滚珠导轨、上行程开关、防护罩、上轴承座、对接板、上轴承、锁紧螺母、轴盖、丝杠螺母、丝杠螺母法兰、紧固螺钉，升降支架通过丝杠螺母法兰与丝杠螺母联接成一体，套装在丝杠上，带轮和轴承装在丝杠的下端部，轴承压盖压在轴承端部，导轨座装在基础板上，下行程开关、线性导轨和上行程开关分别装在导轨座的下、中、上部位，碰块和滚珠导轨装在升降支架上，防护罩套在丝杠外面，两端通过对接板分别装在升降支架、上轴承座上，上轴承座装在导轨座的上面，上轴承装在上轴承座的轴承孔中，锁紧螺母装在丝杠的上端，压紧上轴承的内圈，轴盖装在上轴承座的孔口，压紧上轴承的外圈。

旋转组件包括套筒轴、填料环、对轴承、轴套、外套筒、轴承座、压套、旋转带轮、多楔带、锁紧圈。填料环、对轴承、轴套和外套筒装在轴承座的内腔体中，套筒轴穿过轴承座的内腔，装在升降支架上，压套压在升降支架的平板下面，旋转带轮和锁紧圈装在套筒轴的下部，多楔带套在旋转带轮上，由电机的主动轮传递扭矩，带动套筒轴旋转。

水喷洗组件包括进水管、过渡法兰、分流盲管、内球端螺钉、导向杆、推套盘、O型圈、滑键、铰钉、臂杆、过渡管、挡盘、密封轴承、挡盖、球形喷头、轴密封、小O型密封圈、密封圈、O型密封圈。进水管通过过渡法兰装在分流盲管上，分流盲管通过三个内球端螺钉挂装在套筒轴的下端部，导向杆一端和分流盲管焊接，导向杆另一端和过渡管相连，推套盘内部套导向杆，推套盘外部套装在套筒轴的上端部，通过滑键连接，挡盘通过密封轴承装在过渡管上，挡盖装在挡盘的上面，球形喷头装在过渡管的上顶端，臂杆通过铰钉装在推套盘和挡盘上。

单晶生长炉内腔清洁设备的主要特点是结构紧凑，运动灵活自如，壁杆能曲能伸，能上能下，360°圆周作业，用力均衡，擦拭均匀，在高压水射流从顶部五面喷射的配合下，清洁效果极佳。本发明设计简单，容易实现，也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。

附图说明

图1是单晶生长炉内腔清洁设备的结构示意图；

图2是本发明的升降支架与丝杠装配的结构示意图；

图3是本发明的水喷洗组件的结构示意图；

图4是本发明的高压水的水流方向示意图；

图中：基础板1、升降组件2、旋转组件3、水喷洗组件4、升降支架5、丝杠6、带轮7、轴承8、轴承压盖9、导轨座10、下行程开关11、碰块12、线性导轨13、滚珠导轨14、上行程开关15、防护罩16、上轴承座17、对接板18、上轴承19、锁紧螺母20、轴盖21、丝杠螺母22、丝杠螺母法兰23、紧固螺钉24、套筒轴25、填料环26、对轴承27、轴套28、外套筒29、轴承座30、压套31、旋转带轮32、多楔带33、锁紧圈34、进水管35、过渡法兰36、分流盲管37、内球端螺钉38、导向杆39、推套盘40、O型圈41、滑键42、铰钉43、臂杆44、过渡管45、挡盘46、密封轴承47、挡盖48、球形喷头49、轴密封50、小O型密封圈51、密封圈52、O型密封圈53。

具体实施方式