[发明专利]一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台

权利要求书

1.一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:至少包括平台底座（4）、U轴运动装置（6）、V轴运动装置（7）、W轴运动装置（8）和定位平台（9）；所述U轴运动装置（6）、V轴运动装置（7）和W轴运动装置（8）处于同一平面，固定在平台底座（4）和定位平台（9）之间。

2.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的U轴运动装置（6）、V轴运动装置（7）和W轴运动装置（8）具有相同的结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的U轴运动装置（6）、V轴运动装置（7）和W轴运动装置（8）在平台底座（4）和定位平台（9）之间形成三面分布；U轴运动装置（6）、V轴运动装置（7）和W轴运动装置（8）在平台底座（4）和定位平台（9）之间互成90度。

4.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的U轴运动装置（6）包括伺服电机（601）、滚珠丝杠（602）、固定端子（603）及移动旋转机构（604）；固定端子（603）和伺服电机（601）分别在滚珠丝杠（602）两端，移动旋转机构（604）与滚珠丝杠（602）丝杠连接，移动旋转机构（604）沿滚珠丝杠（602）做直线移动。

5.根据权利要求4所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的移动旋转机构（604）包括移动圆盘（605）及移动旋转横梁（606），移动圆盘（605）下端套在滚珠丝杠（602）上，并随滚珠丝杠（602）的旋转沿滚珠丝杠（602）做直线移动，移动旋转横梁（606）与移动圆盘（605）轴连接或轴承连接，使移动旋转横梁（606）在移动圆盘（605）上能够自由旋转。

6.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的定位平台（9）固定平台滑行导轨装置（901），平台滑行导轨装置（901）与移动旋转横梁（606）通过T型槽连接；定位过程中，移动旋转机构（604）沿滚珠丝杠（602）移动，移动旋转横梁（606）沿平台滑行导轨装置（901）滑行；当定位平台（9）进行旋转定位时，移动旋转横梁（606）沿平台滑行导轨装置（901）滑行或旋转运动。

7.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的U轴运动装置（6）或包括伺服电机（601）、滚珠丝杠（602）、固定端子（603）及移动滑行导轨装置（607）；固定端子（603）和伺服电机（601）分别在滚珠丝杠（602）两端，移动滑行导轨装置（607）与滚珠丝杠（602）丝杠连接，移动滑行导轨装置（607）沿滚珠丝杠（602）做直线移动。

8.根据权利要求1所述的一种用于二维平面定位的超薄三轴伺服定位平台，其特征是:所述的定位平台（9）固定平台旋转机构（902），平台旋转机构（902）由平台圆盘（903）及平台旋转横梁（904）构成，平台圆盘（903）固定在定位平台（9）上，平台旋转横梁（904）与平台圆盘（903）轴连接或轴承连接，使平台旋转横梁（904）在平台圆盘（903）上能够自由旋转，平台旋转横梁（904）与移动滑行导轨装置（607）通过T型槽连接；定位过程中，移动滑行导轨装置（607）沿滚珠丝杠（602）移动，平台旋转横梁（904）沿移动滑行导轨装置（607）滑行；当定位平台（9）进行旋转定位时，平台旋转横梁（904）沿移动滑行导轨装置（607）滑行或旋转运动。